Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9254128 à vendre en France
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ID: 9254128
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
CMP System, 8"
Technology: CMP Oxide
Wafer shape: Flat / Notch
Consumed process materials:
Polish slurry
Platen 1 pad: IC1010
Platen 2 pad: IC1010
Platen 3 pad: IC1010
Pad conditioner: Diaphragm
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner holder
Factory interface options:
Cleaner type: MESA (Converted from reflexion)
Megasonics
Robot type: AMAT / APPLIED MATERIALS
In-situ removal rate monitor: Full scan
SECS GEM Interface
Cassette tank
Cassette type: SMIF
Open cassette
Integrated system basic: FABS 212
FABS Robot blade: Ceramic
Cassette type: 25 Slots teflon PFA
Platen and head options:
Polishing head: (4) TITAN I Heads
(4) Retaining rings
Pad wafer loss sensor
Slurry delivery options:
Slurry delivery: Peristaltic pump
Slurry flow rate
Slurry flow monitor
Slurry loop line
Slurry loop line A
Slurry loop line B
Slurry dispense arm
DI Water
High pressure rinse
Safety equipment:
Red turn to release EMO button
EMO Guard ring
Smoke detector
Polisher slurry leak sensor
Mesa brush leak sensor
Umbilicals:
Polisher to controller cable: 50 Ft
Controller to monitor cable: 50 Ft
Factory hookup:
Upper exhaust
Upper exhaust material: SS
Exhaust vent interlock: Upper and lower
Upper exhaust connection: 8"
Drain manifold:(4) Lines to FAC
Drain adapter: NPT Fitting
DIW Inlet assy: W/O CDA Regulator
User interface:
Monitor selection: LCD Monitor
Monitor 1 location: LCD Monitor on cart
Class 1 cart for monitor 1
Mouse
Start stop button: Controller
Light tower selection: Controller and FABs
Polisher light tower:
Controller tower mounting type: Horizon flush mounted
Controller tower
Controller tower lamp type: Incandescent
Light tower:
Tower mounting type: Pole mounted
Tower lamp type: Incandescent
Tower colors sequence
Cleaner options:
Mesa cleaner
Walking beam assemble
Megasonic module: Delivery tank
Megasonic delivery type: Pressurized
Chemical A
Chemical B
Scrubber module:
Scrubber delivery type: Direct feed
Brush chemical
Scrubber 1 delivery type: Direct feed
Brush 2 chemical
Brush 1, 2 spray bar
SRD Module:
SRD Shield
SRD Exhaust and drain lines: Single
Upper electronic box: UEB
Signal tower
Pad conditioner head: DDF3
Pad con disk holder
Polishing head: TITAN 1 Head
Upper Pneumatic assy: UPA
Slurry delivery: (2) Slurry line for each platens (6 Slurry line)
Endpoint system full scan ISRM (P1, P2)
No slurry containment bulkhead
No slurry loop line C
No Uninterruptible Power Supply (UPS)
No delta connection
No power connected lamp
No AC outlet box
No isolation transformer for Mesa
No elbow fitting for drain pan
No castors
No weight distribution plate
No internal vacuum ventury
No SRD heater lamp
Power requirements:
Line voltage: 200~230 V
Line frequency: 50/60 Hz
Delta connection
Power lamp
Circuit breaker: 200 A
Configurable IO: 10 Channels
GFI Type: 30 mA
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes à commande informatique de haute précision. Il est conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le broyage, le nappage et le polissage précis de plaquettes complexes. Le système utilise un contrôle de mouvement précis et des jeux de fonctionnalités avancés pour obtenir des géométries exceptionnellement précises, en particulier pour le marché des semi-conducteurs. L'unité comprend un plateau rotatif programmable, qui permet le contrôle précis du mouvement de rotation polaire et azimutale. Ce mouvement est utilisé en combinaison avec des techniques de brossage, de brossage et de polissage pour produire des géométries de surface précises. Le mouvement est contrôlé et contrôlé par une série de codeurs rotatifs, fournissant des performances précises et répétables. La machine dispose également d'un outil de chauffage et de refroidissement sophistiqué, conçu pour assurer la plage de température optimale pour les processus en cours, contribuant à réduire l'usure des pièces. L'actif est conçu pour réaliser des applications de broyage, de rodage et de polissage avec des tolérances très serrées (> 0,02 μ m). Toutes les pièces et tous les matériaux formant le modèle, y compris la plaque de base en aluminium, les supports de roulement et les arbres, sont tous conçus et construits pour exiger des tolérances et des spécifications. L'équipement est approuvé par la NSF et conçu pour répondre à toutes les normes de filtre HEPA applicables. En outre, AKT Mirra Mesa fournit un contrôle logiciel avancé, permettant un fonctionnement précis et reproductible. Le système prend en charge les ordinateurs de bord et hors-bord pour le fonctionnement, la surveillance et le diagnostic. Il comprend également une gamme d'options d'outillage, permettant une large gamme d'applications. Dans l'ensemble, AMAT Mirra Mesa est une unité de pointe conçue pour fournir des applications de broyage, de nappage et de polissage précises et reproductibles, en particulier dans l'industrie des semi-conducteurs. Son ensemble de fonctionnalités avancées donne des résultats de qualité supérieurs aux attentes des clients.
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