Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9275384 à vendre en France

ID: 9275384
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa wafer broyage, nappage et polissage est une plate-forme automatisée conçue pour traiter efficacement les plaquettes semi-conductrices. Ce système dispose d'un débit allant jusqu'à 200 plaquettes/heure et est capable de broyer, tapisser et polir avec une configuration de paquet unique. L'unité de contrôle avancée permet la surveillance des processus et le contrôle statistique des processus (RCP) sur plusieurs plates-formes, tout en utilisant un logiciel de contrôle de robot avancé pour fournir un contrôle optimal et la précision sur le processus. AKT Mirra Mesa est équipé d'une variété de composants pour assurer un traitement précis des plaquettes. Cela comprend un mandrin à grande vitesse, un bras robuste de robot, une tête de broyeur et un lit multi-axes. Le lit présente un mouvement tridimensionnel et est conçu pour maintenir une position de substrat stable tout au long du processus. Le bras du robot contribue à optimiser le processus, en assurant le contrôle de la tension, le réglage de la vitesse et l'amortissement des vibrations. La tête de broyage est conçue pour optimiser la topographie de la plaquette en utilisant un rayon fixe et est équipée de lames de carbure pour assurer la précision et éviter les dommages à la surface de la plaquette en raison de frottements excessifs. En outre, AMAT Mirra Mesa offre des capacités de contrôle de processus uniques à cette machine. Cela inclut la capacité de programmer des temps de rodage spécifiques, des vitesses, des tailles de grêle, et d'autres paramètres. Il est également équipé d'un mécanisme de rotation des plaquettes pour assurer la meilleure finition de surface avec une uniformité maximale. L'outil de contrôle permet également aux utilisateurs de stocker des recettes à partir desquelles les paramètres de traitement peuvent être dérivés pour une répétabilité optimale du processus. L'actif assure une finition de haute qualité et fiable sur chaque plaquette. Cela inclut un degré élevé de précision dimensionnelle, ainsi que la finition de surface. Il est également capable d'obtenir une finition planaire supérieure avant le dépôt de métaux, d'oxydes et d'autres couches minces. Mirra Mesa est idéal pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs ainsi que pour des applications de recherche et développement.
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