Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #114141 à vendre en France
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Vendu
ID: 114141
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
CMP system, 8" flat
Components:
Main polisher module: Mirra 3400
Post cleaner module: Ontrack
Base box: cassette tub and box
Polisher cable cover
CMP 5201 controller
Operator desk:
(2) Monitors: FR 770, TW-LM-004
(2) Extensions
MPB700
(2) Multi power
Loader
(2) Cable boxes
Controller monitor desk
Specifications:
Wafer size: 8"
Wafer shape: flat
Application: Oxide
System: dry in / dry out
Process type: all
Device type: D-RAM
Device geometry: 0.09 microns
Consumed process material:
Polish slurry: STI
Buff slurry: none
Platen 1 pad: IC1010
Platen 2 pad: IC1010
Platen 3 pad: IC1010
Pad conditioner: snap on type
Pad conditioner head: modified DDF3 head
Pad conditioner holder: magnetic snap on / SAESOL
Factory interface options:
Cleaner type: Ontrack
Megasonics: no
Robot type: Ontrack side type
In situ removal rate monitor: digital
Inline metrology: none
SECS / GEM interface: yes, high-speed massage storage available
Cassette tank: yes
Cassette type: none
Installation type: through-the-wall
Integrated system basic FABS: FABS 212
Platen and head options:
Polishing head: (4) Titan I heads
Retaining rings: 4
Pad wafer loss sensor: yes
Platen temperature control: none
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (3) slurries
Slurry flow rate: standard flow
Slurry flow monitor: yes
Slurry containment bulkhead: single containment
Slurry facilities: none
Slurry loop line: no
Slurry dispense arm: extended rinse arm
Slurry leak detector: no
DI water: yes
High pressure rinse: yes
System software:
Mirra type: Mirra Ontrack
Mirra software: N/A
Cleaner type: Ontrack
Cleaner software: N/A
Fabs type: standard
Fabs software: N/A
System safety equipment:
Red turn-to-release EMO button: standard
EMO guard ring: yes
Earthquake brackets: none
LO to disconnect polisher: N/A
Smoke detector: yes
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60Hz
Line voltage: 200~230V
UPS battery: yes
Delta connection: yes
Power lamp: green
Power connected lamp: no
Circuit breaker: 230A
AC outlet box: 100V
Configurable I/O: no
Wide type GFI: 50mA
Umbilicals:
Polisher to controller cable: 75'
Controller to monitor cable: 75'
Slurry system interface cable: none
Factory hookup:
Upper exhaust: standard
Lower exhaust: none
Upper exhaust connection: 8"
Drain manifold: 4-line to facilities
Drain adapter: NPT fitting
Castors for Mirra system: no
Weight distribution plate (skid pad): yes
User interface:
Gray area: (1) monitor
Cleanroom: (1) monitor
Class 1 cart for 1 monitor: 1
Class 1 cart for 2 monitors: 0
Class 100 cart for 2 monitors: 0
Stainless carts: 1
PC mouse
Printer: none
Hard disk backup: no
Polisher / Fabs light tower:
Polisher tower mounting type: (4) lights
Polisher tower number of colors: (4) colors
Polisher tower colors sequence: RYGB
Cleaner options:
OnTrak cleaner: N/A
DNS cleaner: N/A
Mesa cleaner: yes
Manuals:
CD ROM: none
Standard paper manuals: none
Cleanroom paper manuals: none
Maintenance options:
Spray gun: single
Side panel window: none
Pad conditioner cover: none
Titan head rebuild kit: none
Consumables kit: none
Calibration box: none
Calibration box cable: none
English standard unit tool kit: none
Slurry flow calibration kit: none
Lapping stone: no
Robot door lock: N/A
Special options:
Nylon brush: no
EChain Teflon sheet: no
Low pressure release water: no
Spares:
Additional heads: 4
Warehoused
1999 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Mirra Ontrak est un équipement technique de broyage, de couchage et de polissage de plaquettes conçu pour automatiser les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il permet un broyage et un polissage de haute précision pour la fabrication de plaquettes de silicium pour l'industrie des semi-conducteurs, assurant l'amincissement des plaquettes, le profilage des bords, l'élimination des défauts et la finition des surfaces. La machine est conçue pour permettre un fonctionnement de précision rentable et cohérent. Il est entièrement automatisé et conçu pour être extrêmement rapide, efficace et précis. Il dispose d'un système de broyage à haute résolution, contrôlé en retour, permettant aux utilisateurs de réguler avec précision le débit et la vitesse d'alimentation. L'unité de broyage est équipée de consignes flexibles qui permettent aux utilisateurs de définir un large éventail de paramètres de broyage, tels que la rugosité de surface, la profondeur de broyage et la qualité de finition. La machine dispose également d'un outil de nettoyage automatisé des plaquettes, offrant plusieurs options de lavage et un outil de lapping et de gravure à base de variateur. Ce modèle permet une production efficace et rentable, offrant une qualité et une répétabilité cohérentes. AMAT Mirra Ontrak est également équipé d'un certain nombre de fonctionnalités avancées et d'accessoires, tels qu'un contrôleur de pression numérique et une interface utilisateur de graphe tactile. Le contrôleur de pression s'assure que la force de broyage est maintenue dans une plage qui permet des opérations de broyage précises, sûres et efficaces. L'interface tactile est conçue pour fournir un aperçu facile à comprendre du processus de broyage et de polissage, offrant aux utilisateurs une vue complète de l'ensemble du processus du début à la fin. L'équipement est également soutenu par le réseau mondial de services et de support AMAT, fournissant le soutien nécessaire pour maintenir le bon fonctionnement des processus de production. En outre, le système offre une large gamme d'options de personnalisation, permettant aux utilisateurs d'adapter l'appareil à leurs besoins et exigences spécifiques. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Ontrak fournit des services de broyage et de polissage efficaces et économiques pour la production de plaquettes semi-conductrices. Avec son fonctionnement automatisé et ses fonctionnalités avancées, cette machine est conçue pour fournir aux utilisateurs des résultats reproductibles et une qualité constante.
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