Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9064388 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Mirra Ontrak est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et la production de MEMS/NEMS. Le système utilise une conception mécanique sophistiquée, une technologie de métrologie avancée et une série de recettes de processus intégrées pour réaliser la topographie de surface au niveau du nanomètre. Tout d'abord, l'unité consiste en une plate-forme automatisée qui peut positionner avec précision la plaquette entre deux points de broyage rotatifs de diamant dans une direction contrôlée. Ceci permet de réaliser en parallèle le broyage précis des plaquettes et le processus de rodage. La machine fournit également une opération de polissage qui implique un procédé de planarisation mécanique chimique (CMP) nécessitant différents chemins et séquences de mouvement de polissage. L'outil dispose également d'un atout robotique programmable à haute résolution, qui permet d'identifier et de mesurer rapidement et automatiquement les caractéristiques de surface exactes de la plaquette et de déterminer l'exactitude de la topographie résultante. Cela garantit que les procédés de broyage et de polissage ont été appliqués avec précision. Le modèle comprend une chambre à vide avec un mécanisme de refroidissement spécial pour assurer une température optimale de la plaquette et réduire les contaminants ou les particules de fixation à la surface. La chambre à vide permet également une planarisation ultra haute de la surface de la plaquette pendant le processus de polissage. Enfin, un équipement de caméra de réseau de pixels est installé pour mesurer avec précision les caractéristiques de surface de la plaquette et l'uniformité sur la surface de la plaquette. Ceci améliore le contrôle du processus, permettant à l'utilisateur d'ajuster rapidement les paramètres du processus si nécessaire. Dans l'ensemble, le système AMAT Mirra Ontrak fournit un ensemble cohérent, fiable et reproductible de procédés de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes, essentiels à la fabrication de semi-conducteurs avancés et de dispositifs MEMS/NEMS. Sa conception hautement automatisée et multiforme le rend à la fois utilisateur et rentable, tout en obtenant une finition de surface de haute qualité.