Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Track #9223509 à vendre en France
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ID: 9223509
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
CMP System, 8"
Process: PCUD
System controller
Main system:
Polisher
Ontrak cleaner
FABS Cassette system
Missing / Faulty parts:
Pneutronic board
(2) Slip rings
Analog board
Cross motor
CPU: Pentium III 400 MHz
Dual RAID hard disk
Hard disk size: 68 GB
RAM: 128 MB
Hardware:
Polisher with controller: Mirra 3400 / 5201
Cleaner: Ontrak
Indexer: RORZE FABS
Slurry (P1+P2+P3): AB
Endpoint laser P1: IScan
Endpoint laser P2: FullScan
Polisher middle skins: P1 & P3 Dark skin, P2 clear skin
No chiller
Com port server: Digi EL160
Cleaner brush LDM: LDM With entegris flow sensors
Slurry in CLC
Slurry arm: (4) Lines
Polishing head: Titan I
Rotary union: (3) Ports
Cross type: Cattrack
Cassette slot run order (From slot 1 down to 25)
Platen teflon coated
Pad conditioner type: UNIVERSAL
Retainer ring type: AEP II
Membrane type: Silicone membrane
PC Diaphragm: DDF3 Diaphragm
Brush with core type: MYKROLIS Ontrak brush
Upgrade / CIP Retrofit details:
LLA Guide pin: Self align
PM Reduction kit: Partial
UPA: Waterfall
No splash guard
Exhaust blower
Magnehelic pressure low level detection kit
SRD Exhaust interlock
Queue tub
Blackout covers
2000 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Mirra Track est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour les industries semi-conductrices et connexes. Ce système est conçu pour offrir une planéité supérieure et une réduction des défauts de surface à des vitesses de production élevées. La polyvalence de cette unité lui permet de gérer plusieurs configurations et tailles de plaquettes. Les principaux composants d'AMAT Mirra Track comprennent un porte-plaquettes recouvert de plusieurs lames, une pince à anneau sans clavier, une machine d'alignement sans clavier, multi-ports et un outil de métrologie de la planéité de surface. Le porte-plaquettes enduit est conçu pour maintenir plusieurs plaquettes solidement et dans la bonne orientation afin d'assurer une planéité maximale et la réduction des défauts. La pince à anneau sans clé assure le bon montage et le swing des plaquettes. L'actif d'alignement multi-ports permet l'alignement manuel et automatisé de la plaquette singulièrement ou en lot, tandis que le modèle de métrologie de la planéité de surface permet la mesure directe de la planéité de surface. L'équipement est capable de broyer, napper et polir des plaquettes avec une portée allant jusqu'à 25mm. Cela peut être réalisé par l'utilisation de différentes tailles de grattage et des tampons de polissage, permettant une large gamme de recettes de processus à utiliser. Le système peut également être programmé pour un fonctionnement entièrement automatisé en boucle fermée avec un contrôle direct de l'utilisateur sur la recette et les paramètres du processus. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser les étapes de traitement des plaquettes à l'application spécifique. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Track est conçu avec un haut niveau de capacités de suivi des données, y compris l'enregistrement des événements, le stockage des données de processus et le diagnostic logiciel à distance. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs de surveiller la qualité du processus des plaquettes et d'ajuster les paramètres à la volée pour maintenir un niveau élevé de contrôle de la qualité. Globalement, Mirra Track est une unité polyvalente qui peut être utilisée pour un certain nombre d'applications différentes. Ses fonctionnalités avancées et sa capacité à personnaliser les étapes de traitement des plaquettes en font un atout précieux dans les industries semi-conductrices et connexes.
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