Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #293625723 à vendre en France
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ID: 293625723
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
CMP System, 12"
Wafer shape: Notch
(3) Load ports, 8"
Dry in/dry out system
Clear type skin
MESA Cleaner type
Operator interface: FI Load port 4
Heater lamp
Polisher options:
Profiler head
4-Port Upper Pneumatics Assembly (UPA)
Dark pad sensor
KAWASAKI Wet robot
(2) Slurries pump type
Slurry dispense arm: Fixed
Platen configuration (1, 2, 3):
Platen type: PFA Coater platen
Platen pad: IC 1010
Platen pad conditioner: Screw-type disc
Cleaner options:
MEGASONIC Tank
Type: Pressurized
Scrubber module for 1 and 2:
Brush type: Texwipe PVA
Delivery type: Pressurized low flow
Upper E84 Senor and cable
KAWASAKI Single arm track robot
Standard load port: Operator interface
Load port: (25) Enhanced wafers FOUP
Facilities options:
Line voltage: 200-300 V
Line frequency: 50/60 Hz
GFCI: 30 mA
2005 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion 3600 est un système de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de pointe. Cette machine est conçue pour être utilisée pour le traitement de matériaux délicats tels que des plaquettes semi-conductrices, des composants MEMS et des dispositifs nanométriques avec une extrême précision. Sa conception permet également un contrôle précis des paramètres du processus pour une performance optimale. AMAT Reflexion 3600 utilise la technologie d'hydroplanage pour permettre une finition de surface de haute qualité et une uniformité sur les plaquettes et autres matériaux durs. La plate-forme hydroplane permet un contact continu entre la pièce de travail et les plaquettes de broyage, de nappage et de polissage. Cela permet de minimiser la décoloration de surface et de réduire le temps de traitement. La machine comprend un porte-travail rotatif avec des fonctionnalités d'arrêt automatique. Cela permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la quantité de matière enlevée ou introduite dans le processus au besoin. Le titulaire de travail est également livré avec un système d'air arrière intégré. Cela aide à réduire les déformations et les vibrations, ce qui donne des résultats précis et reproductibles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion 3600 est conçu pour avoir un cycle de processus rapide de moins de 10 minutes par plaquette, permettant aux utilisateurs d'atteindre rapidement le résultat souhaité. La machine comprend également une interface utilisateur intuitive et facile à utiliser qui facilite la configuration et le fonctionnement. Reflexion 3600 dispose également d'une plate-forme de mouvement multi-axes pour le broyage et le tapis arrière précis. Il comprend également une enceinte environnementale latérale avant conçue pour protéger le système contre la contamination processtunable. En outre, la machine est livrée de série avec une gamme de capteurs et des caractéristiques de sécurité. Cela comprend la détection de collision multi-axes, les dispositifs de sécurité anti-patinage et la protection contre les vibrations. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 est une machine puissante, fiable et précise conçue pour aider les utilisateurs à atteindre le plus haut niveau de précision de processus pour les matériaux délicats. Sa conception sophistiquée permet aux utilisateurs d'atteindre rapidement et efficacement les résultats souhaités.
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