Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223700 à vendre en France
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ID: 9223700
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CMP System, 12"
(4) SMIF Systems
KENSINGTON Handler system
JDS UNIPHASE Argon laser, 75 mW
Chuck edgegrip
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 est un équipement avancé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour la R-D et la fabrication de semi-conducteurs. Ce système utilise une approche de polissage unique qui permet de produire des résultats très précis et uniformes. L'unité comprend une tête de polissage sous pression avec suspension à cantilever, entourée d'une machine de mesure intelligente pour fournir un retour sur le processus de polissage. AMAT Reflexion 3600 est composé d'une tête de polissage pendante et d'un plateau modulaire, qui peut être ajusté pour accueillir différentes tailles de plaquettes. La tête de polissage comprend un outil de suspension de cantilever, qui est actionné par un transducteur de pression automatique, permettant un polissage précis et uniforme quelle que soit l'épaisseur de la plaquette. Le plateau modulaire breveté permet une spécification précise de la surface de polissage de la plaquette. Il est également réglable pour accueillir différentes tailles de plaquettes, de la grande filière aux substrats de petite taille. En outre, l'actif dispose d'un capteur de contrôle de pression automatique qui peut lire et répondre à tout changement de pression de contact pendant le polissage. Cela permet un ajustement adaptatif des paramètres de processus pour une variété de types de plaquettes, tels que GaAs, Si, SiC et GaN. Il dispose également de vitesses de polissage réglables et d'un modèle de rétroaction qui contrôle la vitesse du plateau pour maintenir un résultat uniforme. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion 3600 dispose d'un équipement de chargement robotique avancé. Cela permet le chargement automatisé, le transfert de pièces et la surveillance des processus. Ce système dispose également de diagnostics intégrés, aidant l'utilisateur à détecter et résoudre les problèmes de l'unité de dépannage. Pour les normes de qualité les plus élevées, Reflexion 3600 comprend une machine d'imagerie unique qui capture les images haute résolution du substrat avant et après polissage. Cela permet une comparaison directe et une amélioration des processus. Il conserve également ces résultats dans une base de données sécurisée afin de s'assurer que les données sont transmises en toute sécurité aux autres ministères et au personnel. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 est un outil puissant, précis et efficace de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes, conçu pour fonctionner dans une variété de substrats standard SEMI. Ses caractéristiques en font un excellent choix pour les applications de R&D et de fabrication de semi-conducteurs.
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