Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223702 à vendre en France
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ID: 9223702
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CMP System, 12"
(4) SMIF Systems
KENSINGTON Handler system
JDS UNIPHASE Argon laser, 75 mW
Chuck edgegrip
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de pointe conçu pour produire des surfaces optiquement planes et lisses sur une variété de substrats. Son procédé breveté utilise un diamant spécialement conçu broyage/rognage de pierre pour broyer et rogner la surface de la plaquette à la rugosité désirée. Le broyage de la plaquette est suivi d'un processus de polissage multi-anneaux pour atteindre la qualité optique souhaitée. L'AMAT Reflexion 3600 se compose d'une chambre à vide compacte, mais riche en fonctionnalités, équipée de la dernière technologie robotique et d'automatisation. Cela permet un débit et une flexibilité plus élevés pour accueillir différents produits, substrats et tailles. Il est livré avec une technologie d'entrée et de sortie monobloc ainsi que le chargement et le déchargement automatisés de jusqu'à 18 substrats différents. L'étape de polissage du procédé se fait à l'aide de poulies renforcées de diamants qui entraínent la plaquette contre un gabarit hydraulique de précision. Cela garantit une uniformité et un contrôle optimaux du processus de polissage. De plus, le système intègre également un module de contrôle automatisé de la pression en boucle fermée (CLAPC) qui surveille la pression appliquée à la plaquette pendant le processus de polissage, ce qui permet un contrôle précis des résultats. Le contrôleur de processus sophistiqué de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion 3600 assure une automatisation complète de l'opération et dispose d'une interface graphique facile à utiliser. Il est ainsi facile de stocker et de rappeler des recettes, de définir des politiques, de détecter des anomalies et d'affiner les paramètres du processus. En outre, il offre un suivi en temps réel du processus de broyage et de polissage, ainsi qu'une suite de diagnostics de processus et de codes d'erreur qui permettent à l'opérateur d'évaluer l'efficacité du processus sur n'importe quel lot. La réflexion 3600 est également conçue pour assurer un environnement sûr et propre, car elle est entièrement fermée et utilise un ensachage de confinement pour maintenir la chambre et ses composants propres et exempts de particules. De plus, la machine comprend un outil sous vide robuste pour éliminer les particules contaminantes dans l'air. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 est un atout efficace et fiable pour le broyage et le polissage des plaquettes avec la plus grande précision. Son contrôle précis des processus, sa fonctionnalité automatisée et ses fonctions de sécurité robustes le rendent parfait pour une variété d'applications.
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