Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9379444 à vendre en France
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ID: 9379444
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CMP System, 12"
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
(3) Platens, 30"
Maximum speed: 133 RPM
Pad conditioner, 4"
3 Type DDF, 30-120 RPM
Slurry line: Maximum 400 ml/min
Torque end point system
(4) Heads:
Membrane press head: 3 Zones 0-15 psi
Spindle speed: Maximum 200 RPM
Cleaner 1:
Megasonic cleaner
With (2) rollers and idler
DIW Flow: 2.01 / min
Temprature controller: 20° - 50°
Wafer rotation speed: 6 RPM
Power: 950 kHz, 600 W
Cleaner 2:
(2) Brushes
With (3) rollers and idler
Brush rotation speed: Maximum 700 RPM
Wafer rotation speed: Maximum 50 RPM
DIW delivery: 2000 ml/min
NH4OH: 2000 ml/min
Brush rinse:
DIW: 1000 - 4000 ml/min
Cleaner 3:
(2) Brushes
With (3) rollers and idler
Brush rotation speed: Maximum 700 RPM
Wafer rotation speed: Maximum 50 RPM
DIW Delivery: 2000 ml/min
FPM: 2000 ml/min
Brush rinse:
DIW: 1000 - 4000 ml/min
Dryer:
Spin rinse dryer
Maximum speed: 2500 RPM
Infrared ramp heater: 1000 W
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de pointe conçu pour fournir des résultats précis, rapides et cohérents tout au long du processus de production des plaquettes. Idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS, ce système offre des performances robustes et une polyvalence sur un large éventail de substrats, des métaux aux céramiques en passant par le verre. Le 3600 est construit avec quatre positions de meulage/rodage indépendantes, lui permettant de traiter jusqu'à quatre substrats à la fois pour une production rapide et efficace. AMAT Reflexion 3600 dispose d'une section de charge qui supporte jusqu'à 200mm de plaquettes d'une capacité de 8 pouces. La section de charge est entièrement enfermée dans une enceinte en acier inoxydable pour une sécurité et des performances maximales. La table de chargement et de positionnement réglable peut accueillir des substrats de 4 à 11 pouces de diamètre. La section charge comprend également des capteurs avancés et des logiciels qui permettent un alignement précis du substrat et évitent les erreurs de chargement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La Reflexion 3600 dispose également d'une unité de visualisation optique haute résolution et d'une machine de mouvement à axe X/Y pour accueillir un large éventail de tailles et de formes de substrat. Un outil à trame fendue intégrée est conçu pour permettre un placement précis du substrat. Le processus de rectification/rodage de la 3600 est alimenté par un outil de contrôle d'asservissement avancé et très précis. Cela permet à l'opérateur de définir des vitesses d'alimentation précises et répétables, des vitesses de meules et des vitesses de roues diamantées pour obtenir des résultats optimaux. Le modèle est également équipé d'un équipement de sécurité avancé pour assurer la sécurité des opérateurs. Reflexion 3600 est disponible avec une large gamme d'options de mise à niveau. Il peut être équipé de contrôleurs personnalisés pour des applications spécifiques de broyage, de nappage et de polissage. Il est également compatible avec une large gamme de meules personnalisées, de roues diamantées et de configurations à tour plat. Le 3600 comprend également une suite logicielle puissante qui facilite la configuration, l'automatisation et la surveillance des processus. En résumé, AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 est un système de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes très avancé qui donne des résultats précis et cohérents. Cette unité dispose d'une variété de fonctionnalités avancées et d'options pour accueillir une gamme de substrats et d'applications. La machine est conçue pour fournir un processus de production rapide, efficace et rentable.
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