Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK FI #293822113 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion LK est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes pour la recherche et la production de matériaux. Le système est conçu spécialement pour la R&D et la production de lithographie, de silicium sur isolant (SOI) et de dispositifs optoélectroniques hétérogènes. La machine dispose d'un broyeur et polisseur humide de qualité semi-conducteur, et fournit une rugosité de surface précise avec une uniformité prévisible. Il est capable de broyer des surfaces de microns, de tapisser des surfaces jusqu'à 1um et de polir des surfaces jusqu'à 0.1um. Sa base de montage réglable en hauteur offre une flexibilité pour le fonctionnement par lots, et sa conception intégrée de robot simplifie l'automatisation et élimine la manipulation manuelle des plaquettes. Le régulateur de température intégré permet un contrôle précis de la température de la plaquette à 0,1 ° C, ce qui est crucial pour améliorer la précision et le débit. La fonction d'équilibrage automatique réduit les vibrations de la machine pendant le traitement, tandis que les outils de manipulation propriétaires assurent un positionnement et une manipulation précis des plaquettes. AMAT Reflexion LK dispose de capacités de métrologie avancées, y compris la caractérisation tridimensionnelle (3D) de la surface sans contact, la détection et le confinement automatisés des défauts, et la mesure de la rugosité des bords de ligne. Il dispose d'une unité de cartographie de chambre intégrée qui permet à l'utilisateur de suivre avec précision le nombre de lots de plaquettes, la date et la séquence de traitement, et l'évolution de la température de traitement. L'équipement est équipé de dispositifs de sécurité de pointe tels que des portes automatiques et des systèmes d'arrêt pour la protection contre l'accumulation de poussière, l'abrasion et les conditions dangereuses. Le nettoyage automatique des machines est également disponible. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion LK est un outil avancé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes qui convient à une variété de tâches de recherche et de production de matériaux. Il offre une préparation de surface de haute précision avec un contrôle fin de la température, de l'uniformité de surface, de l'automatisation des procédés, de la métrologie et de la sécurité.