Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #9292971 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide
Vendu
ID: 9292971
Dielectric CMP system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide equipment est un système de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes qui combine des technologies de pointe avec des logiciels conviviaux pour une production rapide, précise et rentable de substrats de plaquettes. L'unité produit un rapport d'aspect élevé, des plaquettes de haute uniformité et des couches ultra-minces avec d'excellentes propriétés électriques et thermiques. AMAT Reflexion LK Oxyde machine se compose de trois composants primaires : la tête de revêtement, la tête de nappage/polissage et la tête de broyage. La tête de revêtement contient une chambre à vide intégrée pour le dépôt précis de nitrure de silicium amorphe, de dioxyde de silicium et d'autres couches d'oxyde. La tête de nappage/polissage est conçue pour assurer un polissage uniforme de plusieurs substrats. Il comporte également un support à deux zones pour faciliter le polissage simultané de plusieurs substrats de plaquettes. Enfin, la tête de broyage comporte un disque abrasif pour un broyage efficace des substrats de plaquettes. Ce disque est capable d'enlever l'oxyde de silicium et d'autres couches des surfaces des plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'outil de reflexion LK Oxyde est spécialement conçu pour la production de plaquettes avec des couches ultra-minces. Il est capable de produire des couches ultra-minces de seulement 11nm avec une uniformité supérieure à 1nm/cm2. L'actif est également conçu pour fournir une planarisation de précision sans avoir besoin d'un broyage ou d'un polissage agressif. Cela permet d'éviter les dommages aux surfaces des plaquettes et assure des qualités de plaquettes cohérentes. Afin d'assurer la précision des revêtements des plaquettes, le modèle d'oxyde Reflexion LK utilise une technologie avancée de co-analyse logicielle. Ce balayage accélère le développement du produit et assure la cohérence d'une plaquette à l'autre. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS L'équipement Reflexion LK Oxyde est idéal pour des applications de production exigeantes. Ses technologies de pointe, son logiciel convivial et sa planarisation précise en font la solution parfaite pour la production de substrats de plaquettes complexes. Il offre une efficacité accrue, une qualité de produit améliorée et des coûts de production réduits pour une valeur maximale et des économies de coûts.
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