Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime #293808181 à vendre en France
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ID: 293808181
Style Vintage: 2017
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System
Hard Disk Drive (HDD)
No polishing head
2017 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK Prime est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de haute performance utilisé pour une grande variété d'applications allant de la fabrication générale de semi-conducteurs au prototypage MEMS. Ce système offre des performances, une précision et une flexibilité supérieures pour broyer, napper et polir des plaquettes avec une précision de haute résolution et une rugosité de surface faible. Utilisant une technologie de pointe, AMAT Reflexion LK Prime peut simultanément broyer, napper et polir des plaquettes pour répondre aux exigences de processus les plus strictes. Idéal pour la R&D et la production, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion LK Prime est équipé d'une unité IR ALD pour contrôler les bords d'inclinaison ou déformés d'une plaquette lors du broyage. Cette machine utilise une plate-forme de broyage unique, rigide et dynamique pour permettre le traitement de plaquettes jusqu'à 200 mm de large, ainsi que la réalisation de deux mécanismes de broyage distincts conçus pour permettre un polissage très fin. De plus, un capteur de pression à broche basse est disponible pour assurer la stabilité et la rétroaction sur la force de broyage appliquée à la surface de la plaquette. Réflexion LK Prime est capable d'atteindre de faibles valeurs de rugosité de surface et une qualité de bord supérieure avec une répétabilité inégalée. En combinaison avec un robot à trois axes, un outil de détection tactile avancé, ainsi qu'un atout de vision de machine dédié, le modèle effectue des tâches de traitement et règle automatiquement le positionnement correct à la vitesse idéale. Un contrôle de processus supérieur est obtenu grâce à un réglage de pression et une distribution de liquide de refroidissement très sensibles ainsi qu'à un logiciel de contrôle de processus intégré. L'équipement avancé de mesure de courbure optique assure une mesure précise de l'arc de plaquette pour l'établissement du fonctionnement LK Prime, ce qui permet d'obtenir des surfaces optiquement planes. De plus, le système utilise une technologie intégrée de mesure de la courbure des plaquettes pour mesurer la courbure des plaquettes lors du broyage, permettant un contrôle précis de l'enlèvement des matériaux. De plus, AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime utilise une approche descendante basée sur les plaquettes, contribuant à assurer un contrôle précis des processus. AMAT Reflexion LK L'unité de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes Prime est la solution idéale pour les applications nécessitant une planarisation supérieure, une finition de surface et une qualité de bord. La machine est soutenue par une équipe de service puissante offrant une assistance après-vente étendue pour s'assurer que l'outil fournit des performances continues et répond aux besoins d'une grande variété d'applications.
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