Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime #9163481 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK Prime est un puissant équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes pour le traitement efficace des plaquettes semi-conductrices monobloc et double face. Au cœur du système se trouve une broche porte-air multi-positions conçue pour le broyage précis, la nappe et le polissage. La broche comporte des paliers à air sur deux axes qui guident les abrasifs rotatifs, permettant à l'unité de contrôler avec précision la planarisation, la rondeur, l'uniformité et la consistance de surface de la plaquette. Le LK Prime dispose également d'un contrôle de la force en boucle fermée et d'un traitement des plaquettes de haute précision. Cela est combiné avec le traitement avant et arrière pour fournir une capacité de processus améliorée pour les applications avancées. Le module d'oxydation HMDS optionnel de LK Prime permet une croissance sûre et efficace des films d'oxyde. La machine dispose également d'un outil avancé de contrôle des processus avec une vue d'ensemble intégrée des recettes de processus, des diagnostics d'erreurs et une interface de contrôle des recettes. Ce contrôle de processus unique offre une configuration rapide et facile des paramètres de processus, une détection automatique de la taille des plaquettes et un chargement entièrement automatisé des recettes. Le LK Prime est conçu et fabriqué pour maximiser l'entraînement et le débit dans le traitement des plaquettes. Son architecture modulaire flexible permet de gérer plusieurs plaquettes et des interfaces matérielles intégrées, ce qui donne un débit de plaquettes élevé. Les autres caractéristiques comprennent un poste d'orientation plat en ligne pour obtenir un chargement uniforme des plaquettes, un mandrin sous vide intégré pour éliminer les dommages aux plaquettes traitées, et un ordinateur embarqué avec interface utilisateur facile à utiliser. L'actif est conçu pour des environnements de production exigeants, et surtout, il contribue à assurer des processus de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes reproductibles et fiables. Pour s'assurer que le processus respecte les normes de précision les plus élevées, le modèle avancé de contrôle des processus de LK Prime offre également un suivi intégré des recettes de processus, des diagnostics d'erreurs et la surveillance des paramètres de processus.