Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK #9283335 à vendre en France
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Vendu
ID: 9283335
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
Dielectric CMP system, 12"
Process: SIF, BPSG, Poly buff CMP
AMAT Reflexion LK:
(4) Heads
(3) Platen polishing systems
Dry in and dry out
Polisher skins
Gap wash
Load cup wafer exchanger
NOVA 3090 Next ready
(2) Monitors
Light tower
FOUP
WIP Delivery type
OHT Light curtain
E84 PI O Sensors and cables
E99 Carrier ID
Docked E99 reading capability
Docking flange shield
Frame configuration
Load ports
Load port operator interface
Operator access switch
Platen type
High pressure rinse flow meter
Rinse arms
Platen pad conditioner
Flow meter
Polishing technology
Polishing head
Cross break
Pad wafer loss sensor
Inter platen clean
Upper pneumatics assembly
ISRM Laser key switch
Slurry delivery system
Power cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Encoder cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
AMAT est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes de pointe conçu pour fournir des résultats supérieurs pour diverses applications. AMAT/APPLIED MATERIALS Le système Reflexion LK Reflexion LK offre un certain nombre d'avantages qui le rendent idéal pour les processus de production. Il dispose d'une plate-forme robuste capable de traiter des plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre, avec jusqu'à huit têtes de broyage/nappage/polissage. Cette configuration offre un débit et une polyvalence élevés, permettant à l'unité de répondre à un large éventail d'applications. En outre, AMAT Reflexion LK est équipé d'une technologie avancée de contrôle des processus en boucle fermée qui garantit des résultats précis. Cette précision est complétée par le moteur à broche AC à vitesse variable de la machine, qui permet une vitesse d'enlèvement contrôlée des matériaux avec abrasion uniforme des matériaux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS RÉFLEXION LK Reflexion LK dispose également de multiples mécanismes de serrage qui le rendent bien adapté à une grande variété de pièces. Cela comprend une pince de transfert brevetée pour les substrats planaires ainsi que la pince 5 points populaire pour les plaquettes rondes jusqu'à 200 mm de diamètre. D'autres caractéristiques de Reflexion LK comprennent une boîte de vitesses modulaire innovante qui permet une configuration facile de la tête, la mise à niveau, et la fonctionnalité. La machine est également équipée d'une surveillance intégrée de la santé de la machine et de diagnostics, offrant un haut niveau de visibilité de l'opérateur. De plus, la conception de Reflexion permet une variété de processus de nettoyage, y compris le nettoyage automatisé des particules et le nettoyage chimique/gazeux. Au total, MATÉRIAUX APPLIQUÉS AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion LK Reflexion LK offre une performance puissante conçue pour fournir des résultats supérieurs avec répétabilité et précision. La programmation high-tech de l'outil, sa conception robuste et son large éventail d'options de serrage le rendent bien adapté à une variété de processus. Avec ses fonctions avancées de contrôle des processus et de diagnostic/maintenance intégrée, AMAT Reflexion LK offre la solution parfaite pour une gamme d'applications de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes.
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