Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9005426 à vendre en France
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Vendu
ID: 9005426
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Copper CMP system, 12"
Base System:
Reflexion LK 4 head, 3 platen polishing system, Dry in
Polisher Skins: Dark P1, P2, P3, and P4: 4910 compliant
Gap Wash: 120 degree nozzles
Load Cup Wafer Exchanger: Enhanced counter balance springs
Nova 3090 Ready: None
Monitor 1 Location Cart
Monitor 2 Location Ergo Arm type
Base System Light Tower: Factory Interface and Polisher Sides
Software:
LK Software Main system lp3B4.5_29
Factory Interface Front End fb4.9_14 Beta
ISRM / RTPC Endpoint system isB3.0_10
RTPC with within wafer uniformity control capability B3.0_11
Interface "A" High speed FDC data transfer: N/A
Nova 3090 Insitu Metrology System Software: No use
Wafer to Wafer iAPC: no use
Within Wafer iAPC: no use
Factory interface:
WIP Delivery Type OHT or manual delivery
FOUP Entegris F300
OHT Light Curtain LIGHT CURTAIN
E84 PI O Sensors and Cables: UPPER E84 SENSORS & CABLES
E99 Carrier ID TIRIS WITH RF
Docked E99 Reading Capability YES
Docking Flange Shield YES
Frame Configuration 4 WIDE
Load Ports Semi Compliant MENV and FIMS Assemblies
Load Port Operator Interface STANDARD
Load Port Types ENHANCED 25 WAFER FOUP
Operator Access Switch YES
Platen 1:
Platen Type: HIGH SPEED (<= 350 RPM)
Endpoint Full Scan Optical ISRM RTPC
Endpoint Motor Torque N/A
High Pressure Rinse Flow Meter 1350-00195 (4.6 l/min) FLOW METER ASSY 1/2OD 1.6-20LPM PFA
Rinse Arms High Pressure/Flow
Flow Meter 50-500 ml/min
Temperature Control Platen Cooling Water
Platen 2:
Platen Type: HIGH SPEED (<= 350 RPM)
Endpoint Full Scan Optical ISRM
Endpoint Motor Torque N/A
High Pressure Rinse Flow Meter: 1350-00195(4.6 l/min) FLOW METER ASSY 1/2OD 1.6-20LPM PFA
Rinse Arms High Pressure/Flow
Flow Meter 50-500 ml/min
Temperature Control Platen Cooling Water
Platen 3:
Platen Type: HIGH SPEED (<= 350 RPM)
Endpoint Full Scan Optical ISRM
Endpoint Motor Torque N/A
High Pressure Rinse Flow Meter: 1350-00195(4.6 l/min) FLOW METER ASSY 1/2OD 1.6-20LPM PFA
Rinse Arms High Pressure/Flow
Flow Meter 50-500 ml/min
Temperature Control Platen Cooling Water
Polisher:
Polisher Technology SLURRY AND PAD
Polishing Head CONTOUR GEN III (0.5 TO 5.0 PSI)
Cross Break Pheumatic Box with Reverse Brake Logic
Pad Wafer Loss Sensor DARK PAD SENSOR
InterPlaten Clean Auxillary clean capability: No
ISRM Laser Key Switch Yes
Slurry Delivery System 5 x 10 CLC SDS
Head 1 Power Cable: 0150-16277 CABLE ASSY, HR1, DRIVER-MOTOR POWER, REF
Head 2 Power Cable: 0150-16278 CABLE ASSY, HR2, DRIVER-MOTOR POWER, REF
Head 3 Power Cable: 0150-16279 CABLE ASSY, HR3, DRIVER-MOTOR POWER, REF
Head 4 Power Cable: 0150-16280 CABLE ASSY, HR4, DRIVER-MOTOR POWER, REF
Head 1 Encoder Cable: 0150-16281 CABLE ASSY, 300MM, HR1, DRIVERRESOLVER
Head 2 Encoder Cable: 0150-16282 CABLE ASSY, 300MM, HR2, DRIVERRESOLVER
Head 3 Encoder Cable: 0150-16283 CABLE ASSY, 300MM, HR3, DRIVERRESOLVER
Head 4 Encoder Cable: 0150-16284 CABLE ASSY, 300MM, HR4, DRIVERRESOLVER
G4+ UPA Water rated valves: SMC UPA
G4+ UPA UPA Firmware: SMC UPA
Cleaner Meg:
MEGASONICS Delivery with onboard Mix
Transducer MEGASONICS Transducer
Chemical 1 CLC 1-250 ml/min
Chemical 2 CLC 1-250 ml/min
Brush box 1:
Brush LDM Type: TwoChemInLineMixed
Chemical 1: CLC 0~1250 ml/min
Chemical 2: CLC 0~1250 ml/min
Brush Box Level Spacer: 6mm Spacer for HH alarm reduction
Brush Box Shaft Enhanced tolerance shaft
Toe In Bracket design to allow for Toe In adjustment
Slow drain Plumb to main drain line
Brush box 2:
Brush LDM Type: TwoChemInLineMixed
Chemical 1: CLC 0~1250 ml/min
Chemical 2: CLC 0~1250 ml/min
Brush Box Level Spacer: 6mm Spacer for HH alarm reduction
Brush Box Shaft Enhanced tolerance shaft
Toe In Bracket design to allow for Toe In adjustment
Slow drain Plumb to main drain line
Dryer module:
Dryer Type VAPOR DRYER
Recovery Module CHEM DELIVERY TANK W/5 WAFER BRACKET
Output Station Dampner: Cap is Viton
2010 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de haute performance qui offre un niveau de performance et de fiabilité inégalé. Il est conçu pour traiter une grande variété de substrats dont le silicium, le sapphire et d'autres matériaux. Le système est composé d'un ensemble avancé d'étages multi-axes qui permet l'indexation précise, le broyage, le nappage et le polissage de plaquettes ainsi que de grands substrats à très haut débit. La conception d'AMAT Reflexion LK offre une flexibilité maximale et le contrôle de l'utilisateur des étapes de processus de substrat et permet un large éventail d'applications, telles que l'amincissement des plaquettes, le polissage du dos et la préparation de surface. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion LK permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de broyage, de rodage et de polissage pour répondre aux exigences de rodage et de passage de substrat à substrat. Cela permet un réglage fin pour aider à optimiser les résultats du processus pour la meilleure taille de fonctionnalités en classe et la qualité de surface conformément aux exigences de l'utilisateur. En outre, Reflexion LK dispose d'un changement rapide et efficace d'orientation du substrat qui peut passer d'une étape à l'autre sans intervention manuelle. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK comprend une large gamme de fonctionnalités conçues pour améliorer la cohérence, la robustesse et le débit des processus. Il s'agit notamment d'une unité de vision intégrée, d'un réglage actif des ressorts et d'un contrôle de suivi à haute dynamique (HDFA), ce qui accroît l'uniformité des prises de vue pour les applications de processus critiques. De plus, AMAT Reflexion LK utilise des utilitaires d'étalonnage intégrés, qui réduisent la dérive à long terme et améliorent la stabilité des performances dans le temps. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'environnement de haute performance de Reflexion LK offre un certain nombre de fonctionnalités de protection des processus et des produits pour assurer la meilleure qualité de finition du substrat et des performances cycle après cycle fiables. Ces caractéristiques comprennent un environnement minimisant le bruit, un étalonnage actif de l'instrument, et une machine de refroidissement avancée qui dissipe la chaleur loin des substrats pour assurer une contrainte thermique minimale. En conclusion, Reflexion LK est un outil de broyage, de polissage et de polissage des plaquettes qui fournit des résultats cohérents, reproductibles et fiables. Il offre une flexibilité maximale pour répondre aux besoins de fabrication uniques d'un large éventail de substrats et d'applications, tout en offrant une large gamme de fonctionnalités de protection de processus et de produits pour garantir les résultats de processus de la plus haute qualité et la fiabilité à long terme.
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