Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9113925 à vendre en France
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Vendu
ID: 9113925
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
Oxide STI Systems, 12"
Wafer: SNNF
Application: OXIDE
System DRY IN/DRY OUT
Process Type: ALL
Device Type: LOGIC
Device Geometry: 0.18 MICRONS
Cleaner Type: MESA
Robot Type: KAWASAKI WET Robot
Megasonics: YES
System Skins: CLEAR SKINS
Software Version
OS Software: WINDOW NT (P-1.6GHZ CPU)
Polisher Software: rp386.1_64
Mesa Software: CB B3.1_23
Loader Port Software: rp386.1_64
ISRM Software: ID21e8
Consumed Process Materials
Polish Slurry: Standard pump and flow gauge
Buff Slurry: N/A
Platen 1 Pad: STANDARD PLATEN WITH PAD CONDITIONER
Platen 2 Pad: WET TYPE PLATEN NO PAD CONDITIONER
Platen 3 Pad: STANDARD PLATEN WITH PAD CONDITIONER
Pad Conditioner Disk: N/A
Pad Conditioner Head: DDF3
Pad Conditioner Disk Holder: UNIVERSAL
Factory Interface Options
Platen 1 ISRM Unknown
Platen 2 ISRM DIGITAL ISRM
Platen 3 ISRM Unknown
In Line Metrology N/A
Advanced Process Control NONE
SECS GEM Interface YES
Integrated System Basic FABS 300mm FI Loader port(3PORTS)
Integrated System NOVA 3060SYSTEM INTERFACED
FA Robot Blade 300mm Standard FI Robot Blade
Bar Code Reader NO
Factory Automation YES
Platen and Head Options
Polishing Head TITAN II HEAD
Upper Pneumatics Assembly PROFILER UPA(4PORT UPA)
Pad Wafer Loss Sensor Single SENSORS W/ LIGHT PIPE
Platen Temperature Control N/A
Platen Temp Control Cable N/A
Upper Platen Coating Unknown
Slurry Delivery Options Selected Option
Slurry Delivery 2 SLURRIES
Slurry Flow Rate STANDARD FLOW
Slurry Flow Monitor NO
Slurry Containment Bulkhead DOUBLE CONTAINMENT
Slurry Facilities NONE
Slurry Loop Line N/A
Slurry Loop Line A NO
Slurry Loop Line B NO
Slurry Loop Line C NO
Slurry Dispense Arm Standard
Slurry Leak Detector YES
Clean Plumbing NO
DI Water NONE
System Safety Equipment
EMO Guard Ring YES
EMO IO NO
LOTO Box NONE
Smoke Detector YES
Polisher Slurry Leak Sensor YES
Mesa Slurry Basin Leak Sensor N/A
Electrical Requirements Selected Option
Uninterruptible Power Supply NONE
Delta Connection YES
Power Lamp GREEN LAMP
Power Connected Lamp NO
Circuit Breaker Polisher:170A, Cleaner:150A
AC Outlet Box YES
GFI Type STANDARD 30mA
Isolation Transformer N/A
Isolation Transformer for Mesa NO
Factory Hookup
Upper Exhaust N/A
Upper Exhaust Material N/A
Lower Exhaust EXIT BELOW TOOL
Exhaust Vent Interlock N/A
Upper Exhaust Connection N/A
Drain Manifold 4 Line
Drain Adapter NPT FITTINGS
Elbow Fitting For Drain Pan NO
Castors for Mirra System NO
Weight Distribution Plate NO
DIW Inlet Assembly W/O CDA REGULATOR
Internal Vacuum Venturi NO
User Interface
Monitor Selection 2 FPD
Monitor 1 Location FPD ON SIDE OF Wet robot Skin
Monitor 2 Location FPD ON CART
Class 1 Cart for 1 Monitor 1
Stainless Steel Cart 0
Mouse or Trackball MOUSE
Printer NONE
Hard Disk Backup NO
Start Stop Button STD
Light Towers Selection FI Unit
FABS Light Tower
FABS Tower Mounting Type HALF MOON FLUSH MOUNTED
FABS Tower No of Colors 3 COLOR
FABS Tower Lamp Type INCANDESCENT
FABS Tower Colors Sequence RYG
Cleaner Options
Mesa Cleaner YES
JMF Wafer Handling Kit NOT APPLICABLE
Megasonics Module
Delivery Tank MEGASONICS
Megasonics Delivery Type PRESSURIZED
Chemical A Unknown
Chemical B Unknown
Scrubbers Module
Scrubber 1 Delivery Type PRESSURIZED FEED
Scrubber 1 Chemical Customer will inform
Scrubber 2 Delivery Type PRESSURIZED FEED
Scrubber 2 Chemical Customer will inform
Spin Rinse Dry Module Selected Option
Heater Lamp YES
SRD Exhaust and Drain Lines SINGLE
Upper Electronics Box STANDARD UEB
CE Marked
200-230 V, 50/60 Hz
Currently de-installed
2002 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK est un système de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de nouvelle génération conçu pour améliorer considérablement la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe. AMAT Reflexion LK offre une vitesse élevée pour un débit maximal, ce qui permet d'utiliser le plus efficacement possible le temps, l'espace et les ressources de l'opérateur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion LK dispose d'une multitude de fonctionnalités spécialisées pour le traitement efficace des plaquettes. L'unité est livrée avec un moteur à grande vitesse intégré qui est capable de fonctionner entre 5000 et 10.000 tr/min. L'opération de rectification s'effectue dans des plans doubles, permettant un rectification simultanée dans deux plans. Cette action de rodage biplan donne des résultats optimaux et permet la réalisation de dispositifs avec des profils de bords très précis. La reflexion LK est également équipée d'une tête indépendante de polissage à grande vitesse qui est capable d'obtenir des finitions de surface supérieures sur une variété de substrats. La tête de polissage se déplace dans deux directions, permettant une action précise sur les plaquettes individuelles. La finition de surface obtenue est beaucoup plus lisse que possible avec les techniques de polissage classiques. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK est capable de contrôler et de régler automatiquement les différents éléments du processus de fabrication. Un panneau de contrôle utilisateur permet aux utilisateurs de personnaliser les paramètres des processus de broyage et de rodage, ainsi que les têtes de polissage. L'unité dispose également d'une fonction de reconnaissance automatique de taille qui aide à rationaliser davantage le temps de traitement. Enfin, AMAT Reflexion LK dispose également d'un système de refroidissement efficace qui contribue à garantir des résultats cohérents et des résultats de processus reproductibles. Ceci est particulièrement important dans la production de dispositifs de précision, où des résultats précis et cohérents sont essentiels. Le système est conçu pour garantir que tous les composants du procédé restent à la température optimale pour une performance et une efficacité optimales.
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