Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9116998 à vendre en France
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Vendu
ID: 9116998
Copper CMP system, 12"
Base system:
Reflexion LK: 4-head, 3-platen, polishing system
Dry in, dry out
Polisher skins: Dark P1, P2, P3, P4; 4910 compliant
Gap wash: 120° nozzles
Load cup wafer exchanger: enhanced counter balance springs
Nova 3090 ready: none
Monitor 1 location: cart
Monitor 2 location: ergo arm type
Light tower: factory interface and polisher sides
Software:
LK Software: lp3B4.5_29
Factory interface: b4.9_14 Beta
ISRM / RPTC: isB3.0_10
RTPC: B3.0_11
Platen 1:
Platen type: high speed (<=350 RPM)
Endpoint: RTPC
High pressure rinse flow meter: 1350-00195 (4.6 L/min) FLOW METER ASSY 1/2OD 1.6-20LPM PFA
Rinse arms: high pressure/flow
Flow meter: 50-500 mL/min
Temperature control: platen cooling water
Platens 2,3:
Platen type: high speed (<=350 RPM)
Endpoint: full scan optical ISRM
High pressure rinse flow meter: 1350-00195 (4.6 L/min) FLOW METER ASSY 1/2OD 1.6-20LPM PFA
Rinse arms: high pressure/flow
Flow meter: 50-500 mL/min
Temperature control: platen cooling water
Polisher:
Polisher technology: slurry and pad
Polishing head: Contour Gen III (0.5 to 5.0 psi)
- (6) Zones
- Maximum pressure: RR (15 psi), Z1 (10 psi), Z2 (5 psi), Z3 (5 psi), Z4 (5 psi), Z5 (5 psi)
Cross break: N/A
Pad wafer loss sensor: dark pad sensor
Inter-platen clean: no
ISRM Laser key switch: yes
Slurry delivery system: 5 x 10 CLC SDS
Head 1 Power Cable: 0150-16277CABLE ASSY, HR1, DRIVER-MOTOR POWER, REF
Head 2 Power Cable: 0150-16278CABLE ASSY, HR2, DRIVER-MOTOR POWER, REF
Head 3 Power Cable: 0150-16279CABLE ASSY, HR3, DRIVER-MOTOR POWER, REF
Head 4 Power Cable: 0150-16280 CABLE
ASSY, HR4, DRIVER-MOTOR POWER, REF
Head 1 Encoder Cable: 0150-16281CABLE ASSY, 300MM, HR1, DRIVER-RESOLVER
Head 2 Encoder Cable: 0150-16282CABLE ASSY, 300MM, HR2, DRIVER-RESOLVER
Head 3 Encoder Cable: 0150-16283CABLE ASSY, 300MM, HR3, DRIVER-RESOLVER
Head 4 Encoder Cable: 0150-16284CABLE ASSY, 300MM, HR4, DRIVER-RESOLVER
G4+ UPA: SMC UPA
G4+ UPA: SMC UPA
Cleaner meg:
Chemical 1:CLC 1-250 ml/min
Chemical 2:CLC 1-250 ml/min
Brush box 1:
Chemical 1: 0-1250 ml/min
Chemical 2: 0-1250 ml/min
Brush box 2:
Brush LDM Type: 2-chem, inline, mixed
Chemical 1: 0-1250 ml/min
Chemical 2: 0-1250 ml/min
Dryer module:
Dryer type: vapor dryer
Recovery nodule: N/A
Output station damper: Viton cap
2010 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes (G/L/P) de pointe qui offre un contrôle et une précision supérieurs pendant la fabrication des semi-conducteurs. Le système dispose d'un poste de travail intégré avec de grands blocs plats de broyage, de nappage et de polissage ; une plate-forme automatisée de broyage/rodage sur une ou deux faces ; un chargeur/déchargeur à grande vitesse ; et une gamme complète d'outils de suivi, de contrôle et d'analyse des processus et des paramètres. L'unité de conduite intégrée et le mécanisme à faible charge de haute précision permettent un haut niveau de répétabilité et de précision. La machine AMAT Reflexion LK a une construction très robuste pour des performances élevées et une durabilité à long terme. Un chauffage avancé et une étape de refroidissement cryogénique sont intégrés dans l'outil pour fournir un coefficient de dilatation thermique très répétable, assurant une finition cohérente sur plusieurs lots de plaquettes. Avec son faible bruit et ses vibrations, l'actif offre un excellent résultat avec un minimum de dommages aux plaquettes délicates. La plaque de broyage/nappage unilatérale a une capacité de charge totale de 400 kg et offre une tenue de route uniforme et précise. Une action de broyage principale et seconde étape combinée est supportée pour obtenir la finition de surface souhaitée. Sa planéité est assurée par un mouvement linéaire guidé par rail de haute précision qui, avec le compensateur réglable, maintient toute différence de surface de base jusqu'à 0,002 mm/m. De plus, le modèle Reflexion LK est livré avec une interface logicielle conviviale, permettant un contrôle complet des processus. Tous les paramètres qui doivent être ajustés peuvent être modifiés en cliquant sur un bouton. Le logiciel est également intégré à un équipement de visualisation moderne qui peut afficher des données en 3D graphiques. Dans l'ensemble, le système Reflexion LK est une unité de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes puissante, fiable et conviviale qui offre des performances et une précision supérieures. Il est idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui exigent des résultats supérieurs dans les plus brefs délais.
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