Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9351487 à vendre en France
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Vendu
ID: 9351487
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Multi-process CMP system, 12"
Does not include HDD
2010 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de haute précision pour substrats utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs et optiques. Ce système permet aux utilisateurs d'effectuer des traitements avec une précision et une répétabilité extrêmement élevées. Il dispose d'une configuration de type pont qui permet une manipulation parallèle des plaquettes et un traitement uniforme. En outre, la plate-forme utilise une conception de cellule de processus propriétaire avec une unité robotique pour charger des plaquettes et fournir des résultats de broyage et de rodage de haute précision. La machine fonctionne en faisant tourner la plaquette dans le sens du mouvement de la nappe et en utilisant des capteurs de vibrations et de pression pour transférer des données à la tête de meulage et de nappage contrôlée par ordinateur. AMAT Reflexion LK dispose de plusieurs composants d'outils, dont une tête de broyage et de rodage, un mandrin de plaquette, un outil de manutention automatisé de plaquette, un modèle de vision, un capteur de bord et un équipement de robot. La tête de meulage et de rognage est constituée de la table de rognage, des moteurs et des pierres de rognage. Le système de vision intégré utilise des caméras de balayage de ligne pour détecter et aligner les plaquettes avec la tête de claquage. Ceci est supporté par le capteur de bord, qui mesure la qualité de surface des plaquettes après chaque processus de broyage et de rodage. L'unité robot est utilisée pour déplacer les substrats du mandrin de plaquette à la table de nappage, et vice versa. Cette machine dispose d'un outil de mesure et de contrôle in situ qui fournit en permanence un retour d'information pour surveiller et ajuster les paramètres du processus en temps réel. En outre, l'actif a un degré élevé de précision et de répétabilité, ce qui permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats cohérents avec une intervention manuelle minimale. Ceci est réalisé grâce à un modèle automatisé de manutention des plaquettes et au mandrin des plaquettes, qui est conçu pour minimiser les effets de la manutention des opérateurs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion LK possède également plusieurs caractéristiques de sécurité, telles que des capteurs de contrôle de la pression et de la pression de broyage et de la vibration. Enfin, cet équipement comprend des progiciels et des interfaces conviviales qui permettent aux utilisateurs de contrôler et d'analyser les résultats de chaque processus de rodage. Les progiciels permettent également aux utilisateurs d'analyser les données d'écoute et de fournir la visualisation et l'analyse statistique nécessaires pour obtenir les résultats souhaités. Les interfaces conviviales permettent aux utilisateurs d'entrer les paramètres de processus requis et de suivre l'avancement des processus de rectification et de rodage des plaquettes.
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