Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9372768 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK
ID: 9372768
Taille de la plaquette: 12"
CMP System, 12" Process: Tungsten.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Reflexion LK est un équipement de broyage, rodage et polissage de plaquettes conçu pour traiter des substrats de plaquettes de 200mm à 450mm de diamètre. Le système a la capacité de traiter les substrats au polissage le plus élevé possible, ce qui donne les surfaces libres les plus défectueuses pour la fabrication de dispositifs de pointe. L'unité se compose d'un manipulateur de substrat contrôlé par CNC, d'un broyeur, d'un lapper, d'un polisseur et d'une machine de distribution de lisier diamant. Le gestionnaire CNC déplace le substrat dans les directions X, Y et Z et fournit un contrôle de positionnement 3D complet. Le manipulateur est conçu pour maintenir la rugosité et la planéité du substrat tout en fournissant trois degrés d'orientation de la plaquette et une force de poignée réglable. Le broyeur est un outil rotatif à fort couple qui élimine les points élevés et la rugosité superficielle du substrat de la plaquette. Il est livré avec un transducteur haute pression et un actif contrôlé PID pour un broyage rapide et précis. Le porte-linge dispose d'un modèle de coussin haute pression à deux étages pour un rodage rapide et uniforme. Le transducteur de pression intégré assure une pression constante pour des couches uniformes. Le polisseur est livré avec un équipement rotatif à couple élevé pour la commande active et passive du mouvement. Il dispose d'un système de contrôle de pression PID intégré qui permet un rodage et un polissage précis. Enfin, l'unité de distribution du lisier de diamant est conçue pour assurer une distribution uniforme du lisier de diamant et l'enlèvement des sédiments. Il utilise une machine de prélèvement pulsé propriétaire pour contrôler la libération de lisier dans le temps. Ceci assure un dépôt uniforme du diamant sur la plaquette lors des processus de nappage et de polissage. Dans l'ensemble, AMAT Reflexion LK est un outil avancé de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour produire des surfaces sans défaut au niveau de polissage le plus élevé possible. Son manutentionnaire contrôlé par CNC et son actif intégré de distribution de lisier de diamant permettent un rodage et un polissage précis et uniformes. Sa conception robuste et fiable en fait l'un des systèmes les plus avancés pour le traitement des appareils de nouvelle génération.
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