Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9056492 à vendre en France
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ID: 9056492
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CMP system, 12", 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion, est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour permettre aux fabricants de semi-conducteurs d'appliquer efficacement le traitement MEMS et le broyage fin pour produire des surfaces ultra-plates et sans dommages pour les composants MEMS. AMAT Reflexion est configuré avec un câblage automatique 6 axes Robot 5 « et 6 » de nappes de carbure, des plaquettes en diamant et des plateaux de lisière. Le bras Robot automatisé déplace les outils de broyage sur un programme multi-axes finement équilibré pour obtenir une planéité de surface supérieure et une épaisseur uniforme sur une grande variété de matériaux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion est également équipé de la technologie de surveillance et de navigation de précision (PMN) qui permet au robot de mesurer avec précision les hauteurs, angles, distances et autres paramètres de la surface de broyage et de distribuer la bonne quantité de milieux abrasifs selon les spécifications requises. En outre, un système de contrôle en boucle fermée de pointe surveille constamment le processus pour s'assurer que les broyeurs de la plus haute qualité sont produits. L'unité est également équipée d'une machine de vision qui balaye le matériau entrant et évalue les imperfections ou défauts au cours du processus de broyage. Reflexion est également équipé d'un collecteur de poussières avec un design sans filtre qui permet un environnement de manipulation de plaquettes propre sans contamination des plaquettes traitées. L'outil dispose également d'un compteur de particules à trois axes qui prévient la contamination par mesure de particules de grains abrasifs noyés. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion dispose également d'une interface tactile qui permet un contrôle opérationnel facile, l'enregistrement des données et la surveillance en temps réel. AMAT Reflexion est programmé et optimisé avec un logiciel pour assurer le bon fonctionnement et l'utilisation efficace des outils de broyage. L'actif est facilement intégré à d'autres systèmes dans une chaîne de production, ce qui simplifie le processus et protège les équipements en aval contre l'abrasion ou la contamination par des matières abrasives. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion peut traiter une grande variété de matériaux courants utilisés dans la fabrication de MEMS et supporte une gamme de vitesses de polissage, jusqu'à 0,5 microns par seconde. Reflexion a été conçu pour des performances et une fiabilité élevées, permettant aux fabricants de semi-conducteurs de produire des composants avec des surfaces parfaites pour les applications MEMS. Il s'agit d'un modèle avancé pour le broyage et le polissage, idéal pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs.
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