Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9182257 à vendre en France
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ID: 9182257
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
CMP System, 12"
With NANOMETRICS
EFEM
Polisher
Cleaner
Pneumatic box
Cover A
Cover B
Monitor rack
Part box
2004 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion Wafer Broyage, Lapping & Polding Equipment est une technologie de fabrication révolutionnaire pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce système polyvalent offre un moyen efficace et économique de produire des plaquettes complexes et de haute précision en une seule étape. Il combine les opérations de rodage et de polissage en une seule machine intégrée, offrant polyvalence, répétabilité et évolutivité. L'unité AMAT Reflexion comprend des composants mécaniques de précision et une suite complète de logiciels avancés d'automatisation et de contrôle des processus. Il est construit avec un cadre solide et utilise deux meules de plaquettes pour produire des plaquettes précises. Les moteurs de meulage sont commandés électroniquement et reçoivent un retour de position d'une jauge de précision qui surveille également la force de maintien sous vide des plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La machine à reflexion offre des revêtements de plaquettes et des profilages de bords efficaces pour produire des géométries de plaquettes précises. Il utilise des modules auto-lapping pour assurer le contrôle et la surveillance automatisés de l'opération de lapping. La broche est programmée pour ajuster la charge et la vitesse des plots de polissage à différentes phases du processus. Un outil précis de refoulement de la pression d'air délivre de l'air sous pression aux plots pour générer une surface encore polie. La réflexion intègre également un polissage précis des plaquettes. Pour ce faire, on utilise des plaquettes abrasives brevetées conçues pour correspondre parfaitement au profil et à la topographie des plaquettes. Le module de polissage offre un contrôle automatisé de la force de contact de la plaquette par rapport à celle de la plaquette pendant le processus de polissage. Une solution de polissage précise est livrée aux tampons de polissage et le matériel de nettoyage intégré minimise le potentiel de contamination. AMAT/APPLIED MATERIALS Le modèle Reflexion offre une qualification totale en ligne, avec des enregistrements de processus traçables. Cela fournit à l'utilisateur des résultats de processus précis et reproductibles ainsi que des enregistrements de géométries de plaquettes individuelles, de rugosité de surface, de planéité et d'autres paramètres de processus critiques. Cela permet de vérifier le rendement du processus, les temps d'arrêt, la répétabilité et d'autres paramètres importants du processus. AMAT Reflexion Wafer Broyage, Lapping & Polishing Equipment est une solution innovante supérieure pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre un moyen efficace et rentable de produire des plaquettes complexes de haute précision en une seule étape, offrant une polyvalence, une répétabilité et une évolutivité inégalées.
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