Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9225982 à vendre en France
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Vendu
ID: 9225982
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
CMP System, 12"
Process: Tungsten
Polisher:
Clean dry air and nitrogen: Maximum flow 30 SCFM
De-ionized water (DIW): Maximum 5.8 GPM
Slurry (1-3): 600 SCCM
Exhausts: Max 150 CFM
AC Power: 208 V, AC 5%
Cleaner:
Nitrogen maximum: 3 SCFM
Clean dry air maximum: 13.4 SCFM
De-ionized water (DIW) maximum: 4.0 GPM
Process cooling water maximum: 1.8 GPM
AC Power: 208 V, AC 5%
FI Specification:
Vacuum: 12.6 psig
Clean dry air maximum: 20 scfm
AC Power: 208 V, AC 5%
Polisher configuration verification:
(4) Polishing heads: 12" Titan profiler 2.1
Polisher head: (4) Zones
ISRM: P1 Full scan, P2 scan
(3) Pad conditioners
(3) Pad conditioner heads modify to cylinder type
Slurry: Line A, B, C / (2) Peristaltic pumps
ENTEGRIS Flow controller
X3, NT Flow controller X1
Polisher platen without cooling function
LCWE Input / Output type edge type wet robot
Cleaner configuration verification:
Wet robot in KAWASAKI mode
P490 Connector missing
FI Configuration verification:
KENSINGTON Robot
(3) Load ports
Operating system: Windows XP
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Wafer Grinding, Lapping and Pollishing Equipment est une solution complète pour produire des surfaces planes et des bords ultra-lisses de haute précision sur une gamme de substrats semi-conducteurs et d'autres matériaux rigides. Le système est conçu pour produire des appartements plus lisses que n'importe quelle autre unité disponible et peut donner une uniformité sur plusieurs substrats de plaquettes. La machine est composée d'une unité principale et d'un poste de commande. L'unité principale est composée de plusieurs composants dont deux broches de broyage, deux plaques de nappage, trois postes de polissage, deux contrôleurs électroniques, une unité de filtrage de cartouche et une ou plusieurs unités d'alimentation. Les broches de broyage sont responsables du broyage, des ouvertures de broyage et de la coupe couteau/lame. Les plaques de tapis sont responsables du broyage, du tapis et du polissage simultanés de toutes les surfaces planes et des poignées des deux substrats, généralement carré et rectangle. Les postes de polissage sont chargés de créer une finition uniforme et miroir des surfaces planes et des bords requis. Les contrôleurs électroniques contrôlent tous les aspects, les vitesses et les temps des composants individuels. L'unité d'alimentation fournit de l'alimentation à tous les composants, assurant une sortie continue et un fonctionnement fiable. L'unité principale est alors reliée au poste de contrôle, ou interface opérateur. Ce poste est composé d'un écran tactile, d'un clavier pour l'entrée des commandes, de trois positions de chargement/déchargement et d'une isolation pour protéger le personnel d'exploitation contre les particules nocives. Le poste de contrôle est le « cerveau » de l'outil et est responsable de la gestion de l'ensemble du processus, du chargement, du broyage, du rodage, du polissage et du déchargement, ainsi que de la surveillance et du contrôle d'autres paramètres de l'actif. L'interface opérateur est également chargée de collecter les données et de s'assurer que tous les paramètres requis sont à l'intérieur de certaines valeurs. Il dispose également d'une vaste bibliothèque de fonctions et de paramètres pré-programmés. Cela lui permet de maintenir des résultats cohérents tout en donnant à l'opérateur plus d'options pour ajuster les paramètres et rendre les surfaces plus complexes. Le modèle AMAT Reflexion Wafer Broyage, Lapping et Polissage est une solution très avancée conçue pour créer des surfaces parfaitement planes et lisses sur une large gamme de matériaux. Avec son haut degré d'automatisation, ses caractéristiques puissantes et sa conception conviviale, l'équipement offre une solution efficace et économique pour répondre aux exigences de finition de surface. Sa technologie de pointe, sa précision et sa fiabilité en font une option idéale pour produire des pièces de haute précision pour un large éventail d'applications.
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