Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9311884 à vendre en France
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ID: 9311884
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
CMP System, 12"
Process: Tungsten
Polisher:
Clean dry air and nitrogen: Maximum flow 30 SCFM
De-Ionized Water (DIW): Maximum 5.8 GPM
Slurry (1-3): 600 SCCM
Exhausts: Maximum 150 CFM
AC Power: 208 V, AC 5%
Cleaner:
Nitrogen maximum: 3 SCFM
Clean dry air maximum: 13.4 SCFM
De-ionized water (DIW) maximum: 4.0 GPM
Process cooling water maximum: 1.8 GPM
AC Power: 208 V, AC 5%
FI Specification:
Vacuum: 12.6 psig
Clean dry air maximum: 20 SCFM
AC Power: 208 V, AC 5%
Polisher configuration verification:
(4) Polishing heads: 12" Titan profiler 2.1
Polisher head: (4) Zones
ISRM: P1 Full scan, P2 scan
(3) Pad conditioners
(3) Pad conditioner heads modify to cylinder type
Slurry: Line A, B, C / (2) Peristaltic pumps
ENTEGRIS Flow controller
X3, NT Flow controller X1
Polisher platen without cooling function
LCWE Input / Output type edge type wet robot
Cleaner configuration verification:
Wet robot in KAWASAKI mode
P490 Connector missing
FI Configuration verification:
KENSINGTON Robot
(3) Load ports
Operating system: Windows XP
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu et construit pour l'industrie des semi-conducteurs. Il peut être utilisé pour toutes les étapes de la fabrication des plaquettes, de la préparation initiale de la surface des plaquettes au polissage final nécessaire à la fabrication des dispositifs. Le système est basé sur un bras de broyage et de polissage robotique de pointe et un contrôleur de précision avec un mécanisme d'inclinaison intégré pour effectuer des opérations de broyage et de polissage des plaquettes. Le bras de broyage et de polissage est équipé d'une broche et d'un palier à glissière de précision, contrôlant à la fois la direction et la force appliquée à la surface de la plaquette. Le contrôleur est capable de gérer plusieurs opérations de broyage/polissage, et peut suivre et enregistrer l'avancement de toutes les opérations au sein de l'unité. AMAT Reflexion est équipé d'une gamme de fixations de plaquettes pour maintenir la plaquette en toute sécurité pendant les opérations de broyage et de polissage. Les fixations sont conçues pour accueillir différentes tailles et formes de plaquettes et peuvent être rapidement échangées pour accueillir différents processus. La machine intègre également une gamme de systèmes vide/gaz pour faciliter l'évacuation efficace de la matière broyée de la surface de la plaquette. Avec une conception modulaire, l'outil peut être facilement configuré pour différentes conditions de processus telles que les opérations de broyage et de polissage à grande vitesse, la mesure en cours de processus de la qualité de la surface de la plaquette et la surveillance en ligne de l'état de la surface. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Reflexion a également des mesures de sécurité intégrées pour assurer un contrôle sûr des opérations de broyage et de polissage. Il est livré avec des alarmes sonores et visuelles qui peuvent être attachées à n'importe quelle étape du processus, pour signaler un travailleur si un défaut est détecté ou un mauvais réglage du processus est sélectionné. Il dispose également de sauvegardes logicielles permettant de détecter toute modification inattendue des paramètres du processus et d'interrompre le processus si de telles modifications sont détectées. Enfin, l'actif est capable de passer avec succès entre différents processus de broyage/polissage avec une intervention minimale de l'utilisateur. En résumé, Reflexion est un modèle de broyage et de polissage de plaquettes très avancé, alliant robotique de pointe, contrôleurs de précision, et une gamme de fixations et de mesures de sécurité pour assurer un contrôle efficace de l'ensemble du processus. Cela garantit des résultats constants de haute qualité, même dans les environnements de production les plus exigeants.
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