Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9399236 à vendre en France
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ID: 9399236
Taille de la plaquette: 12"
CMP system, 12"
Contour head UPA with (4) heads
Malema flow control for slurry flow
KAWASAKI Wet robot
HPR Arm
Inter platen cleaning
Wafer slip sensor
Pad conditioner:
Cylinder type: Localized
Magnetic disk holder
Megasonic: (2) Chem NT flow CLC
Brush LDM: Chem direct NT flow CLC
Input and SRD: CLC Flow control
SRD Dry module
TDK TDS 300 3-Port
OHT Light curtain bar
NANOMETRICS 9010B
FIC Front monitor panel kit.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Les équipements de broyage, de polissage et de laminage des plaquettes de reflexion tirent parti des technologies automatisées de rodage et de polissage pour fournir un broyage et une finition de précision des substrats semi-conducteurs et autres dispositifs. Le système AMAT Reflexion intègre une conception de plate-forme optimisée avec des technologies avancées de laps/polissage et un logiciel de contrôle JAVA flexible et personnel basé sur l'ordinateur. Des fonctionnalités telles que la sécurité de polissage automatique, la rétroaction des processus et le contrôle des processus au niveau du tableau permettent à l'unité Reflexion des matériaux appliqués de fournir des rendements maximaux et un débit élevé. La plate-forme unique comprend des procédés de broyage, de nappage et de polissage avec la flexibilité de configurer pour différents types de substrat tels que les plaquettes de silicium et divers autres matériaux. La machine à reflexion comprend une enceinte environnementale spécialement conçue pour assurer une excellente protection des composants et des mesures cohérentes des particules. Chaque composant de l'outil est bien connu comme fiable, pour assurer la répétabilité et le broyage uniforme entre les tâches. AMAT/APPLIED MATERIALS L'actif Reflexion utilise une plate-forme de portance centrale conçue pour charger les substrats automatiquement et en toute sécurité. Cela réduit la manutention manuelle et évite les erreurs de l'opérateur. Il offre également une excellente accessibilité aux substrats, y compris une caméra d'alignement de vision sans contact qui peut acquérir rapidement des motifs de plaquettes. Les mécanismes automatisés sont conçus pour fournir des résultats répétables avec un besoin minimal d'ajustements manuels. Il en résulte une interchangeabilité constante entre les charges, et la capacité d'exécuter un débit élevé d'opérations de rodage. Certaines des fonctionnalités de contrôle de processus trouvées dans le modèle AMAT Reflexion sont sa répétabilité de charge à charge, un tableau programmable de fonction de contrôle, la surveillance de la température et de l'humidité, et l'interface avec les systèmes de diagnostic de métrologie et de défaut. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement de réflexion est conçu pour offrir des performances supérieures de broyage, de rodage et de polissage sur un large éventail de substrats. Il fournit une finition cohérente et répétable pour les plaquettes semi-conductrices et autres dispositifs, permettant de broyer, napper et polir avec précision et précision. Ce système est un excellent choix pour les entreprises à la recherche d'une unité de traitement des plaquettes efficace et fiable.
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