Occasion APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #151915 à vendre en France
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Vendu
ID: 151915
CMP system
Specifications:
Wafer handling robot (integration capable)
(1) 20" platen (ISRM capable)
(4) Load cups
(1) Pad conditioner
(3) Pad conditioner cleaners
(3) Inter platen cleaners
(3) Slurry delivery systems (MIPS)
VME controller Pentium III, 128 SRAM
De-installed 2009
2000 vintage.
MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Mesa est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de pointe. La conception conviviale est entièrement automatisée pour une production à haute vitesse et à haut rendement. Les composants intégrés du système sont conçus pour offrir une efficacité maximale avec un minimum d'entretien. Mirra Mesa se compose d'un poste de manutention robotique des plaquettes, d'un poste de rectification des plaquettes, d'un poste de couchage des plaquettes et d'un poste de polissage des plaquettes. Le robot charge, décharge et transfère rapidement des plaquettes entre les postes de broyage/rodage/polissage. Le poste de meulage utilise des meules diamantées montées sur un axe fermé et contrôlé de précision pour façonner la plaquette. La station de rodage est équipée d'un portique multi-axial pour une finition de surface précise. La station de polissage offre un contrôle de finition et de rugosité de surface avec un entraînement de précision à trois axes. L'ensemble est conçu pour une large gamme de matériaux de plaquettes, y compris le silicium, le silicium sur isolant, et d'autres matériaux. La machine de contrôle intégrée dispose de haute vitesse d'acquisition et de contrôle de données, permettant une programmation et un stockage de données faciles. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Mesa est extrêmement précis, avec des centres d'outils dans les trois axes de mouvement, ainsi qu'une excellente technologie de roulement sans contact pour un jeu nul dans les trois axes. L'outil offre une filtration supérieure de l'air, avec toutes les particules de broyage, de rodage et de polissage épuisées loin de la zone de travail, assurant la sécurité de l'opérateur et de l'équipement. L'automatisation du processus, une programmation conviviale et une sécurité accrue permettent à l'opérateur de devenir plus efficace et d'augmenter le rendement. Mirra Mesa actif est également extensible, avec des configurations à deux et trois axes disponibles. Le modèle est capable de broyer, tapisser et polir avec précision une grande variété de matériaux de plaquettes, en moins de temps et avec de meilleurs rendements que les méthodes traditionnelles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Mesa est un équipement de pointe conçu pour réduire le coût et la complexité du broyage, du tapis et du polissage des plaquettes.
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