Occasion APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #73051 à vendre en France
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Vendu
ID: 73051
metal layer CMP system, copper, 8"
Software license, re-installation and startup to Tier II
Mirra Mesa CMP
Original W system - running Cu
Mesa cleaner
One monitor, trackball
50 ft cables
InSitu removal rate monitor (ISRM) detectors on all 3 platens
50ft ISRM cables
Standard cassette tank
Titan 2 heads for tungsten
AEP retaining ring
Pad conditioner:
DDF3 - new design with clean up spray nozzle, N2 purge
Extended rinse slurry dispense arm
Platten Pad: Process kit with IC1000 pad
Standard Platten no temperature control
Wafer loss sensor with light pipe
3 slurries (AB1, AB2, AC3) 1 DIW per platten, std flow, without flow monitor
One drain line to facilities - all drains manifold into one
NPT drain fittings
Electronic control box for slurry monitoring only
Light tower: 3-color vertical, Red/Green/Yellow with flash and buzzer
No key switch, compatible with all light towers and no light tower
Lower exhaust for standalone system
Remote start/stop button on polisher
Guard ring on all EMO (CE compliant)
Single spray gun
No Window in side panel
Tie-downs on polisher & controller feet
No UPS
Smoke detector in controller
No pad puller, for one line to facilities option
Nanometrics
Universal disk holder
ABT Universal disks
Cass present sensor
Wafer mapping
Kit Cascading Ergo fabs w/o filter
2006 vintage.
MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Mesa est l'équipement de broyage, de nappage et de polissage idéal pour ceux qui ont besoin de maintenir des tolérances serrées avec d'excellentes finitions de surface. Le système est conçu pour broyer efficacement les plaquettes pour obtenir une finition cohérente et de haute précision sans compromettre le processus de production. Il est alimenté par plus de 10kW de puissance de broche motorisée servo, combiné à une électronique de contrôle de mouvement avancée et une roue abrasive haute performance, ainsi que des fonctions de calibration et de surveillance de processus intégrées. L'unité procure une finition de surface supérieure en utilisant une broyeuse grossière sur ses différentes étapes, mais est capable de réaliser des finitions de surface plus fines en cas de besoin. Avec une conception hybride, la meule utilise une combinaison de matériau abrasif haute performance, de grit diamant et de grit carbure pour s'assurer que la plaquette reste très lisse tout au long du processus. La conception de la roue intègre une large gamme de vitesses de broche et de vitesses d'avance pour fournir des vitesses de broyage et de finition beaucoup plus rapides au besoin. La roue est également équipée d'une fonction d'oscillation unique pour améliorer la précision et l'uniformité. Pour assurer un contrôle optimal des processus, la machine Mirra Mesa comprend un contrôleur numérique-analogique-hybride pour un contrôle précis du processus de rectification et de rodage. Cela permet à l'opérateur de régler la vitesse de la broche ou la vitesse oscillante en cliquant sur un bouton. En outre, l'outil surveille les températures de processus, la pression, la force, les vibrations et d'autres dynamiques afin d'apporter des corrections au besoin. En outre, l'actif offre une variété de caractéristiques de sécurité telles qu'un arrêt d'urgence automatisé et un bouton de retard d'urgence afin d'assurer un fonctionnement sûr. Le modèle dispose également d'un équipement de conformité à force zéro pour aider à protéger la meule et l'empêcher de se briser. Enfin, le système est équipé d'une large gamme d'accessoires, y compris divers diamants et grits carborundum, des porte-plaquettes et des mandrins, ainsi que d'une large gamme de logiciels de surveillance et de contrôle des processus. Tout cela ajoute à une unité de broyage, de rodage et de polissage efficace et contrôlable qui peut finir les plaquettes de façon précise et uniforme avec des tolérances serrées et une finition de surface supérieure.
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