Occasion DISCO DFG 82IF/8 #9374771 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9374771
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Grinder, 8"
Grinding method: In-feed grinding with wafer rotation
Operating modes: Fully-automatic mode and manual mode
Spindle system:
Air spindle: 2-Axes (Single-spindle version selectable)
Direct drive high-frequency motor: 4.2 kW
1000-7000 RPM
Revolving speed / Electrical current real-time display function incorporated
Vertical stroke: 100 mm
Vertical in-feed speed range: 0.0001 to 5.000 mm / Sec
Vertical rapid feed speed: 600 mm / min
Maximum step of vertical displacement: 0.001 mm
Minimum vertical resolution: 0.05 µm
Angle adjustment: X / Y-Axis direction tilting mechanisms in the spindle housing
Height gauge:
Measurement range: 0-1000 µm
Resolution: 0.5 µm
Accuracy: 1 µm
Turntable:
Diameter: 500 mm
Index angle: 180° Reversible
(2) Tables
Wafer chuck table:
Type: Porous
Chucking method: Vacuum chucking
Revolving speed: 1-500 RPM
Applicable wafer size diameter: 8"
(2) Chuck tables per turntable
Settings for dwell after grind: 0-100 Revolutions
Chuck table cleaning: Back-flushing of water and compressed air is combined
With scrubbing by brush and oilstone
Grinding wheel: Diamond wheel, 8"
Wafer loading / Unloading:
Wafer carrier storage quantity: (2) Carriers parallel (Loader and unloader)
Spinner table: Water cleaning plus drying of both sides
Throughput: 60 Wafers / hr
Wafer size: 6"
Grinding depth: 20 µm
Accuracy:
Parallelism (TTV): 0.003 mm
Thickness variation between wafers: ±0.003 mm
Operating control:
Nonglare monitor: 12"
CRT Illumination color: White
Operation panel:
Composed of function keys
Numeric keys
Auxiliary keys
Cursor keys
Operating controls
Manual keyboard: Used for manual operations in which minute manipulation
(3) Relocated places: Center / Loader / Unloader
(13) Grinding / Cleaning water supply unit (Waste method type):
Tank capacity: 401 L (10.6 gal)
Water flow rate: 30 L/min (7.9 GPM)
Pressure: 3 kgf/cm² (42.6 PSI)
Filter: 5 µm
Water: Deionized water
Vacuum pump unit:
Air exhaust rate: 370/450 e/min (50/60 Hz at 160 Torr)
Pressure: 25 Torr
Motor rating: 1.5 kW
Water consumption rate: 5 L/min (1.32 GPM)
Water quality: City water
Alarm signal tower Colors: Green, orange, red
PC Output interface:
Data transmission mode: Full duplex
ASCII / JIS Codes
Data format: Start-stop system
Data rate: 4800 baud
Data signaling format: EIA RS-232C
Air pressure:
5.0 kgf/cm².G - 8.0 kgf/cm².G
71 psi.G - 113.6 psi.G
Pressure variation range: 0.3 kgf/cm².G (4.26 psi-G) or less
Blade hose: 15x22 mm
Flow rate: 500 N/min
Dew point: -15°C or Lower
Residual oil contents: 0.1 ppm wt/wt
Ground resistance: Class 3, 100Ω or less
Noise: 1000 V or Less at a pulse width of 500 NS (Square wave)
Dual-spindle version: 17 kVA
Power supply: 200 VAC ±10%, 3-Phase, 50/60 Hz.
1995 vintage.
DISCO DFG 82IF/8 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes capable d'obtenir une qualité de surface ultra précise et des procédés de rodage par étapes de haute précision. Sa capacité de traitement jusqu'à 1000 mm de diamètre permet une variété d'applications complexes de fabrication de dispositifs et de production de couches minces. Les processus de broyage, de nappage et de polissage sont programmables manuellement pour des conceptions personnalisées. DISCO DFG-82IF/8 est équipé d'une interface utilisateur intuitive, intuitive et intégrée pour un contrôle précis et intuitif de toutes les fonctions d'application. Des jigs, outils et accessoires spécialisés sont prévus pour les opérations de rodage de surface, jusqu'à une épaisseur de 1 μ m. DFG 82 IF/8 est équipé de deux modules de broyage distincts - un pour le broyage et un pour les opérations de rodage. Chaque module est équipé de moteurs à vitesse variable pour un contrôle optimal de la vitesse pendant le fonctionnement. Les deux modules peuvent fonctionner de concert avec le système d'alimentation automatique optionnel pour une efficacité et une précision accrues. Le module de broyage est équipé d'une gamme de supports abrasifs réglables, pour une taille de plaquette allant jusqu'à 1000 mm. Des outils de broyage imprégnés de diamants de haute qualité sont fournis pour atteindre la plus haute qualité de vernis et des tolérances de rodage. De plus, l'unité de broyage est conçue avec une machine de paniers de polissage pour obtenir un contact de surface idéal lors du traitement. Le module de rodage est équipé de deux plates-formes motorisées distinctes pour les mouvements de rodage +/- direction. Les plaques de rodage spécialisées sont fournies avec différentes grits et tailles, pour des résultats optimisés avec la plus grande précision possible. DFG-82IF/8 est doté des caractéristiques nécessaires pour obtenir les meilleurs résultats de broyage, de rodage et de polissage, avec la facilité de fonctionnement. Pour les plaques de tapis de différentes tailles et grits, DISCO DFG-82I F/8 peut produire des surfaces optiques de très haute qualité. En outre, la conception compacte de l'outil permet un fonctionnement facile et un accès libre à la zone de travail, offrant un environnement de travail sûr et confortable.
Il n'y a pas encore de critiques