Occasion DISCO DFG 8560 #9173636 à vendre en France

DISCO DFG 8560 est un équipement automatisé de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes. Le système est conçu pour traiter automatiquement les plaquettes semi-conductrices jusqu'à 8 po. en diamètre. L'unité offre un débit et une précision élevés avec son procédé de fraisage au diamant à quatre niveaux et sa machine de polissage à deux têtes, ce qui donne des plaquettes finies de haute qualité. L'outil se compose de quatre étapes : broyage, nappage, polissage et inspection. Le mécanisme de meulage de DISCO DFG8560 est constitué d'une paire de deux glissières linéaires de haute précision parallèles à chaque meule et d'une paire de deux servomoteurs. Les glissières linéaires déplacent l'ondulation vers la position souhaitée pour le fraisage. Les servomoteurs entraînent la meule à la bonne position pour le meulage des plaquettes. Les lames linéaires ont une résolution de 0,5 um et une précision de répétabilité de 1 um. En phase de rodage DFG 8560, la meule diamantée traverse la surface de la plaquette pour affiner le lissage de la surface. L'étape de rodage utilise une roue de rodage en diamant pour abrader la surface de la plaquette pour obtenir une surface régulière et plane. La roue de recouvrement est composée des grains de diamants qui sont conçus pour être extrêmement abrasifs et est capable d'enlever une couche mince de la surface de gaufrette avec chaque laisser-passer. Le stade de polissage de DFG8560 utilise une roue de polissage de deux têtes pour plus loin smoothen la surface. La roue à deux têtes a deux surfaces de milieux abrasifs qui boudent et forment la surface de la plaquette en même temps. La roue de polissage à deux têtes est également capable d'enlever les micro-rayures sur la plaquette. L'étape Inspection est utilisée pour vérifier la qualité de surface et la qualité poli de la plaquette. La station Inspect est équipée d'un microscope optique pour agrandir et analyser l'état de surface de la plaquette en divers points. Les résultats de la station Inspect sont utilisés pour affiner le fonctionnement des actifs et assurer des résultats de polissage cohérents et de haute qualité. Dans l'ensemble, le modèle DISCO DFG 8560 est capable de produire des plaquettes finies de haute qualité. Sa combinaison de glissières linéaires de précision, de servomoteurs et de roue de polissage à deux têtes fournit des résultats précis et reproductibles. La station Inspect complète une solution complète pour la production automatisée de plaquettes semi-conductrices de haute qualité.