Occasion DISCO DGP 8760 #9038367 à vendre en France
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Vendu
ID: 9038367
Backside wafer grinder, 12"
Includes:
(4) Porous vacuum chucks
(2) Grind wheel
(2) Independent wet grind spindles
(2) Independent transfer arms
(2) Independent loadports, 25 wafer Front Opening Shipping Box (FOSB) carrier
(1) Wafer handling robot, 6 axis
(1) Wafer alignment system with capability, pedestal style with vacuum
(1) Wafer ID Reader, independent screen
(1) Dry polish spindle
(1) Polishing wheel
(1) Spin-dry station
Chuck cleaning system (does not require conversion from 8" to 12"
Wafer processing hardware
Wafer processing consumables
Tape-side wash for clean post grind
Voltage: 200 VAC, 3 Phase
Wiring configuration: H + H + H + G
Frequency: 50/60 Hz
F/L Amp: 41 A
MC Main breaker rating: 75 A
Amp rating at largest load: 42 A
Interrupt Current: 35 kA
2008 vintage.
DISCO DGP 8760 est un équipement de broyage, de polissage et de polissage de plaquettes développé par DISCO Corporation. Ce système de processus de plaquettes est capable d'obtenir des nappes et un polissage précis pour des applications exigeantes telles que la finition fine de la surface et la planéité. Il dispose d'une unité d'automatisation efficace avec une interface graphique conviviale et prend en charge plusieurs outils pour broyer, tapisser et polir des plaquettes. Les principaux composants de la machine DISCO DGP8760 sont la pierre grillagée, le coussin de polissage et la broche. La meule est placée dans une poupée et est entraînée par un moteur qui fait osciller la meule pour broyer la plaquette. Le moteur est commandé par une machine CNC programmable qui peut atteindre différentes vitesses et motifs de meulage. Le patin de polissage est utilisé pour polir la plaquette après le processus de broyage. Il est mis en mouvement et tourné dans un sens et une vitesse constants, tandis qu'un composé de polissage est fourni entre le patin et la plaquette. Enfin, la broche est utilisée pour maintenir la plaquette pendant le processus de nappage et de polissage et est équipée d'un contrôleur PID pour contrôler précisément la vitesse de rotation. Pour le processus de broyage, DGP 8760 dispose de plusieurs outils pour garantir la précision du processus. Il peut automatiquement sélectionner la condition de rectification la plus appropriée et définir la vitesse d'oscillation du moteur pour le processus de rectification. Afin d'atteindre la meilleure qualité possible, DGP8760 supporte l'utilisation d'une tête de rodage à vitesse variable pour assurer un contrôle optimal du processus de rodage. Le patin de polissage peut être ajusté à différentes vitesses à l'aide d'un panneau tactile afin d'obtenir la finition de surface souhaitée. Enfin, l'axe dispose d'un contrôleur PID pour assurer un contrôle précis de la vitesse de rotation. En plus de la finesse de la surface et de la planéité, la DISCO DGP 8760 est capable d'obtenir des largeurs de ligne fines et d'autres opérations liées à la CMP. D'autres caractéristiques de cet outil comprennent une fonction de réinitialisation automatique, le contrôle de la poussière, l'alimentation en eau, et la cartographie automatique pour les surfaces de plaquettes non uniformes. Dans l'ensemble, DISCO DGP8760 est un outil de processus très précis pour broyer, tapisser et polir les plaquettes. Son modèle d'automatisation efficace et divers outils de broyage, de rodage et de polissage en font un choix idéal pour un large éventail d'applications. De plus, son contrôleur PID et son panneau tactile permettent un contrôle automatisé du processus de broyage et de rodage pour un meilleur débit et des résultats de meilleure qualité.
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