Occasion DNS / DAINIPPON AS-2000 #293733191 à vendre en France
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ID: 293733191
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
CMP System, 8"
Dual brush and top side brush chambers
Spin dry
Gases: DHF, NH4OH
(2) Chemical cabinets
MX-7500 TBC Brush load cell amp
PRETECH Fine jet Generator
AC Transformer
FA-21000A PC
YASKAWA SGD Drive
HF Circulation filter
UT3-F3AE-B touch panel
HFC-VWE Hitachi inverter
RORZE Curt-2032-0
Slurry flow controller interface
Power box
IFC-7300-001 Distribution box
Operating system: Windows NT
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000 est un équipement entièrement automatisé de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes, conçu pour broyer, napper et terminer avec précision le silicium et d'autres plaquettes semi-conductrices composées. Le système est l'unité d'automatisation et de contrôle de processus la plus polyvalente et avancée disponible. Il est capable de produire un revêtement de surface supérieur, avec une planéité et une épaisseur supérieures. DNS AS2000 fournit un broyage plan et angulaire idéal des plaquettes à motifs symétriques et asymétriques, y compris l'étape, via et bossage. Le polissage est réalisé grâce à une machine abrasive en mouvement libre, permettant une planéité rapide et précise, l'uniformité et le réglage de l'épaisseur. L'outil offre également une variété de paramètres de polissage et de broyage, y compris le choix d'utiliser différentes particules de diamant pour divers procédés. L'actif est équipé de systèmes avancés de contrôle des processus et de sécurité, tels que des régulateurs de pression, des systèmes de vide et des unités de contrôle de la température. Cela garantit des processus précis et reproductibles avec un état de surface et une qualité supérieurs. Parmi les autres caractéristiques, mentionnons un chargeur de plaquettes et un cadre de plaquettes qui facilite le réglage de la taille de la plaquette, un contrôleur PLC avec un panneau tactile, qui offre une sélection de processus facile, et un système intégré, plusieurs modes de rectification et de polissage. Pour une productivité de broyage optimale et des performances de processus, DAINIPPON AS 2000 est conçu avec une multitude de fonctionnalités logicielles avancées qui permettent à un utilisateur de contrôler avec précision les paramètres de broyage et de polissage, tels que les paramètres de dressage, la taille et la qualité du diamant, la pression d'interface, le profil de vitesse, l'oscillation et la vitesse de retrait du matériau. Le modèle prend également en charge l'automatisation des processus via une base de données intégrée et des contrôleurs logiques programmables. L'équipement utilise un système réaliste pour l'application de la pression nécessaire de broyage ou de polissage, qui est fortement influencé par l'état des surfaces. L'unité de contrôle de rectification-polissage comprend également un logiciel entièrement intégré pour la surveillance, le contrôle et l'analyse du processus de rectification afin d'assurer des tolérances extrêmement serrées et une collecte continue des données sur les plaquettes. En résumé, DNS/DAINIPPON AS 2000 est une machine de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes très avancée, offrant une finition de surface de plaquettes supérieure, avec une planéité et une épaisseur supérieures. Il est capable de broyer, tapisser et polir avec précision et précision la surface d'un certain nombre de plaquettes semi-conductrices composées, et est équipé de systèmes avancés de contrôle des procédés et de sécurité, ce qui en fait le choix idéal pour une variété d'applications de traitement de plaquettes de pointe.
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