Occasion EBARA / EDWARDS Frex 300 #293606134 à vendre en France
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ID: 293606134
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
CMP System, 12"
EFEM (Load/Unload):
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Electric robot
Position control: Motor + Ball screw
Dry robot
Wafer transfer:
(2) Turn overs (R/L Side)
(2) Pushers (R/L Side)
(4) LTP Linear stages (R/L Side)
(2) Lifters (R/L Side)
Wafer stage (R/L Side)
Wet robot
Polishers:
(2) Top ring normal heads
(2) Buffing tables
Slurry line
Chemical (CL) connection
Return Line
(2) Dressers (R/L Side):
Diamond pallerc type
Disk type: Plate
(2) Tables (R/L Side):
Material stainless steel
Lapping surface
Motor
Cleaner:
1st Cleaner:
(2) Roll scrubs
(2) Megasonics
Wafer roller: Duro 90
SC-1 < 60°C
2nd Cleaner (Pencil and SRD Unit):
(2) Roll scrubs
Megasonic
Poewr control unit:
Power contol
(4) Drivers:
Head rotation
Head swing
Operation contriller(ETC):
Hardware:
VME Bus, board computer
Main CPU: 68 Series 32 Bit
2001 vintage.
EBARA/EDWARDS Frex 300 est un équipement avancé de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système intègre des technologies de pointe pour permettre un traitement précis et efficace des plaquettes utilisées dans la production de dispositifs semi-conducteurs. En tant qu'étape cruciale de la fabrication des semi-conducteurs, le broyage, le rodage et le polissage des plaquettes jouent un rôle essentiel dans l'obtention de l'épaisseur, de la planéité et de la qualité de surface des plaquettes requises pour les dispositifs semi-conducteurs performants. Au cœur de l'unité EBARA Frex 300 se trouve sa conception robuste et sophistiquée qui permet un contrôle et une personnalisation supérieurs des paramètres de traitement des plaquettes. La machine dispose d'un mécanisme de broyage de haute précision qui utilise des matériaux avancés et des principes d'ingénierie pour obtenir la réduction d'épaisseur souhaitée des plaquettes avec une précision et une répétabilité exceptionnelles. Ce procédé de broyage de précision est essentiel pour obtenir une épaisseur uniforme de la plaquette sur toute la surface de la plaquette, assurant une performance et une fiabilité optimales des dispositifs semi-conducteurs fabriqués à partir de ces plaquettes. En plus du broyage, l'outil EDWARDS Frex 300 intègre également des capacités de rodage et de polissage, améliorant encore la qualité de surface et la planéité des plaquettes. Le rodage est un processus critique qui aide à éliminer les dommages suburface causés pendant le processus de broyage, améliorant la qualité globale de la surface de la plaquette. Frex 300 utilise des techniques de rodage avancées pour atteindre des niveaux élevés de planéité et de lisse de surface, essentiels pour assurer l'alignement et le collage précis des couches des dispositifs lors de la fabrication des semi-conducteurs. Le polissage est un autre processus clé intégré au modèle EBARA/EDWARDS Frex 300, qui permet d'obtenir la finition de surface requise pour les plaquettes semi-conductrices. Grâce à une combinaison de tampons de polissage avancés, de boues abrasives et de contrôles de processus, l'équipement peut atteindre des niveaux de rugosité de surface sous-nanométrique, assurant une performance et un rendement optimaux du dispositif. Le processus de polissage aide également à éliminer les défauts de surface et les contaminants restants, améliorant encore la qualité et la fiabilité des plaquettes pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système EBARA Frex 300 est équipé de fonctions d'automatisation et de contrôle de pointe qui permettent un fonctionnement et une surveillance sans faille des paramètres de traitement des plaquettes. Des capteurs avancés, des mécanismes de rétroaction et des capacités de surveillance en temps réel assurent un contrôle précis des principales variables de processus telles que la pression, la vitesse et la température, permettant des conditions de traitement optimales et des résultats cohérents. L'interface et le logiciel conviviaux de l'unité permettent aux opérateurs de mettre en place des recettes de traitement personnalisées, de suivre l'avancement des processus et de générer des rapports détaillés pour l'optimisation des processus et le contrôle de la qualité. Dans l'ensemble, la machine EDWARDS Frex 300 représente une solution de pointe pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des plaquettes de haute qualité avec une précision et une efficacité exceptionnelles. En tirant parti des technologies de pointe et des principes d'ingénierie, l'outil offre un contrôle, une personnalisation et des performances supérieures pour les étapes critiques de traitement des plaquettes, permettant la production de dispositifs semi-conducteurs de haute performance avec une fiabilité et une cohérence inégalées.
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