Occasion EBARA EPO-113 #293825809 à vendre en France
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ID: 293825809
CMP System
Normal head
Oxide CMP
Host station
Renesas upside +8K/m tool.
Les équipements EBARA EPO-113 de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes offrent des capacités de broyage, de rodage et de polissage puissantes et précises pour une grande variété d'applications. Il est capable de manipuler des plaquettes monoplace ou double face jusqu'à 8 pouces de diamètre à des vitesses allant jusqu'à 15 000 tr/min, offrant une précision et une répétabilité exceptionnelles. La conception simplifiée de la machine EBARA EPO 113 élimine la complexité tout en garantissant fiabilité et précision. Il propose une sélection complète de produits abrasifs de précision, allant du diamant collé et des disques abrasifs à la résine et aux feutres de polissage. Il dispose également d'un système de moteur linéaire à trois axes pour la commande indépendante du porte-plaquettes, de la tête de broyage et des tables de polissage avec une résolution de 0,01 micron et une répétabilité de 0,5 micron. EPO-113 est également exceptionnellement flexible, offrant la possibilité de passer du broyage au polissage en quelques secondes avec un simple échange de la tête et de la table. Les positions des plaquettes pour le positionnement du meulage et la table de polissage sont prédéterminées dans le contrôleur, assurant que tous les paramètres restent les mêmes après un basculement. Le panneau de contrôle LCD 12 "intuitif et convivial avec affichage graphique couleur permet un contrôle simple du processus de rectification et de polissage des plaquettes. Les paramètres du processus, tels que la vitesse, la pression et le type abrasif, sont facilement réglables, tandis que le processus peut être contrôlé manuellement ou programmé via une unité de recette. La machine utilise également la technologie RFID qui peut détecter automatiquement la taille, le type et la coupe des grains. Cela automatise en outre le processus de broyage et de polissage et garantit des résultats cohérents. Enfin, la sécurité de l'opérateur et de ses voisins est essentielle. L'OEB 113 est conçu avec une série de dispositifs de sécurité comprenant une machine de sécurité active intuitive et des indicateurs LED, un dispositif d'isolation des récipients haute pression et des évents collecteurs de poussières pour la collecte et l'élimination des particules.
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