Occasion EBARA EPO-113 #293825810 à vendre en France
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ID: 293825810
CMP System
Normal head
Oxide CMP
Host station
Renesas upside +8K/m tool.
EBARA EPO-113 est un équipement automatisé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour fournir des résultats de polissage précis, cohérents et reproductibles. Ce système peut traiter une grande variété de plaquettes jusqu'à 6 pouces de diamètre avec des niveaux élevés d'efficacité et de précision. EBARA EPO 113 est construit sur un cadre rigide amortissant les vibrations et contient une unité de vide intégrée à faible bruit. Cette machine permet l'application et le retrait précis et reproductible de divers supports de broyage, de rodage et de polissage. Le contrôle de mouvement précis et les profils de mouvement précis sont entraînés par trois servomoteurs sans balais de haute précision sur deux portiques distincts avec une construction rigide et résistante à la corrosion. EPO-113 outil de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes fournit un certain nombre de paramètres contrôlables par l'utilisateur. Cela comprend la vitesse des moteurs d'alimentation et de rotation, le cycle de pression pour l'application et l'élimination des milieux de broyage et de polissage, et le temps de cycle total. L'atout électromécanique permet également des processus de broyage, de rodage et de polissage précis et reproductibles ainsi qu'un positionnement précis des plaquettes, assurant un alignement mécanique-chimique correct du processus d'application et de retrait. L'environnement opérationnel du modèle de l'OEB 113 est conçu pour faciliter le fonctionnement efficace de l'équipement. Cela comprend un environnement propre avec une alimentation en azote, ainsi qu'un contrôle de la température et de l'humidité. Un large éventail d'accessoires sont également disponibles, y compris des systèmes de refroidissement, des régulateurs de gaz, des couvertures de sécurité et des copeaux d'échantillons, permettant le contrôle complet du processus de polissage. Les algorithmes de contrôle avancés du système permettent une programmation et un fonctionnement intuitifs de l'unité. Cette machine automatisée peut être interfacée avec un certain nombre de systèmes supplémentaires, y compris des PC, des réseaux ou des contrôleurs. Un affichage interactif, situé dans le panneau avant, permet un contrôle supplémentaire de l'utilisateur. L'outil EBARA EPO-113 est une solution complète et automatisée pour polir une grande variété de plaquettes. Le contrôle précis du mouvement, l'actif électromécanique et les algorithmes de contrôle avancés fournissent des résultats fiables de polissage de précision. Le paramétrage contrôlable par l'utilisateur, la programmation intuitive et l'interfaçage, et une large gamme d'accessoires ajoutent aux capacités bien arrondies du modèle.
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