Occasion EBARA EPO-113 #9210283 à vendre en France

EBARA EPO-113
ID: 9210283
Taille de la plaquette: 8"
Oxide CMP system, 8".
EBARA EPO-113 est un équipement de broyage, Lapping et polissage de Wafer conçu pour offrir une productivité et une qualité élevées tout au long de son cycle de vie. EBARA OEB 113 propose une combinaison unique de technologies de pointe pour le broyage de précision, le tapis et le polissage. Ce système permet aux opérateurs d'effectuer une variété de processus complexes, y compris le rectification, le rectification avant, le tapis et le polissage des plaquettes jusqu'à 6 pouces de diamètre. EPO-113 se compose d'un corps de machine principale, d'une base et d'un couvercle, de broches multiples, de tables automatiques de chargement/déchargement, de bras de transfert, de séparateurs et de systèmes optionnels de nappage et de polissage. Le corps de la machine principale est doté d'un cadre robuste et fermé qui est capable de tenir plusieurs broches de meulage et de rodage de plaquettes. Les broches sont entraînées par des courroies et présentent une vitesse élevée et des rotations uniformes pour assurer un broyage et un rodage précis et cohérent des plaquettes. Le corps principal de la machine comprend également une profondeur mécanique de commande des coupes, des systèmes automatisés de verrouillage des broches, des systèmes d'entraînement automatisés, ainsi que des capteurs pour assurer la précision des configurations. La base et le couvercle de l'OEB 113 sont construits en alliage d'aluminium léger. Ils sont conçus pour glisser facilement dans et hors du corps de la machine principale pour un entretien et des essais simples des composants intérieurs. Cette conception légère facilite également le chargement et le transport efficaces d'EBARA EPO-113. Le chargement et le déchargement d'EBARA OEB 113 sont facilités par de multiples tables automatisées de chargement et de déchargement d'un diamètre pouvant atteindre 6 pouces. Les bras de transfert automatisés offrent plusieurs emplacements de transfert multiples pour un flux efficace de plaquettes sur l'ensemble de la chaîne de production. Les séparateurs sont programmés pour retirer automatiquement les plaquettes de la chaîne de production une fois le traitement terminé. L'unité de rodage et de polissage optionnelle de EPO-113 utilise une conception unique horizontale et inclinée vers le bas. Cette conception garantit que les plaquettes sont doucement « marchées » vers le bas du placage incliné pour assurer l'uniformité de la surface sur l'ensemble de la plaquette. Cette machine est capable d'atteindre des finitions de surface au niveau du nanomètre. L'OEB 113 est un outil robuste et polyvalent de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour assurer une productivité et une qualité élevées tout au long de sa vie. La combinaison unique de technologies de pointe, de composants de chargement et de déchargement automatisés et d'un atout de rodage et de polissage en option font d'EBARA EPO-113 le modèle idéal pour le broyage de précision, le rodage et le polissage des plaquettes jusqu'à 6 pouces de diamètre.
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