Occasion EBARA EPO-222 #293759262 à vendre en France

EBARA EPO-222
ID: 293759262
CMP Systems.
EBARA EPO-222 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour fournir des performances et une fiabilité élevées aux procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un système automatisé qui est bien adapté pour des lots simples ou petits d'applications de plaquettes, comme le broyage et le rétro-grillage de plaquettes semi-conductrices, le rodage de MEMS, et le polissage pour des applications de haute précision. EBARA EPO222 est composé d'un mécanisme de broyage/rodage/polissage et d'une unité de commande. Le mécanisme de broyage/nappage/polissage consiste en une table de travail recouverte d'un matériau abradable, qui peut être ajusté à la meule désirée, à la plaque de rodage ou à la toile de polissage. Un moteur est utilisé pour faire tourner la meule, la plaque de rodage ou la toile de polissage, tandis que le bras mécanique qui porte la plaquette est réglé pour réaliser le broyage, le rodage ou le polissage désiré à différentes vitesses et pressions. L'unité de contrôle est chargée de contrôler le fonctionnement du mécanisme de broyage/nappage/polissage, ainsi que de suivre et de stocker les données concernant la meule, la plaque de broyage ou le tissu de polissage utilisé dans le processus. Le processus de broyage/rodage/polissage de l'OEB 222 est contrôlé par l'intermédiaire d'une unité intégrée de contrôle visuel, capable de détecter toute irrégularité de la surface de la plaquette pour garantir une qualité élevée. Par ailleurs, le broyage/nappage/polissage des plaquettes effectué par la machine présente une grande précision grâce à sa technique de positionnement actif des particules, où la granulométrie, la densité et la position par rapport à la pièce peuvent être réglées instantanément. De plus, l'outil est équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels qu'un intervertisseur de biohazards et des boutons d'arrêt d'urgence qui peuvent être pressés pour arrêter immédiatement l'actif si nécessaire. EPO222 présente plusieurs avantages par rapport à d'autres systèmes de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes, notamment sa haute performance, sa fiabilité, sa précision et sa sécurité. Il est également capable de manipuler plusieurs plaquettes à la fois, et son contrôle serré des processus assure que des résultats uniformes sont produits à chaque fois. En outre, la conception polyvalente de EPO-222 le rend adapté à une grande variété d'applications industrielles et de recherche, telles que le broyage, le tapis et le polissage d'une variété de matériaux.
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