Occasion EBARA EPO-222 #293760236 à vendre en France

Développé par EBARA Technologies, EBARA EPO-222 est un équipement avancé de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes semi-conductrices de précision. Il dispose de plusieurs caractéristiques qui le rendent efficace et fiable pour atteindre une précision de surface inférieure à un nanomètre sur plaquettes. Le système dispose d'une grande chambre de broyage à température contrôlée qui empêche l'abrasion métallique induite par la température et la rupture de la plaquette. L'unité de refroidissement aide à réduire significativement les gradients thermiques tout en maintenant la température de la chambre sous contrôle. La machine dispose également d'un axe de précision double axe qui a une gamme de vitesses adaptées pour le broyage, la nappe et le polissage des plaquettes. La pression réglable entre le plateau et la plaquette permet la pression parfaite nécessaire pour assurer des résultats uniformes. Machine de broyage et de polissage de plaquettes EBARA EPO222 a un design robuste, composants en acier inoxydable et un automate avec ligne d'alimentation qui peut gérer de grands volumes de plaquettes. Il est également livré avec un dispositif de polissage automatisé qui non seulement a une gamme de cycles de polissage mais est capable d'adapter dynamiquement les paramètres de polissage aux plaquettes en cours de traitement. L'outil EPO 222 est conçu pour une utilisation en salle blanche, avec un équipement de recirculation de l'air qui minimise la contamination par la poussière. En outre, le modèle dispose également de systèmes avancés de collecte de poussière et de filtration, ainsi que d'une gamme de caractéristiques de sécurité, telles que l'arrêt d'urgence et la surveillance de la température. Pour couronner le tout, l'équipement est également équipé d'une interface système caméra intégrée qui permet la mesure et le positionnement automatisés des plaquettes ainsi que le suivi des opérations de traitement des plaquettes. De plus, un module de mesure de wafer propriétaire (PMM) assure la précision et la traçabilité de la mesure de wafer. Avec sa conception robuste, ses caractéristiques avancées et ses mesures précises, EPO222 est une unité puissante conçue pour répondre aux exigences les plus élevées en matière de production et de recherche. Que ce soit pour le broyage de précision, le nappage ou le polissage, EPO-222 est l'outil parfait pour produire des plaquettes semi-conductrices très précises et fiables, à maintes reprises.