Occasion EBARA EPO-222 #293809026 à vendre en France

L'équipement de broyage et de polissage des plaquettes EBARA EPO-222 est un système de pointe conçu pour broyer avec précision les plaquettes, les plaquettes et les plaquettes poli jusqu'à 200 mm de diamètre. Il est idéal pour des applications telles que le CMP (polissage mécanique chimique) et le MEMS (systèmes microélectromécaniques). L'unité est équipée d'un servomoteur numérique pour un contrôle précis des opérations de meulage et de polissage. Il dispose d'une table tournante pour le positionnement et le chargement des plaquettes. La table peut être facilement ajustée pour atteindre la position souhaitée pour le chargement et le déchargement des plaquettes. La meule est entraînée par un moteur alternatif triphasé, réglable en vitesse et en cadence. La roue a une meule semi-circulaire et deux côtés - un côté pour le meulage et un côté pour le polissage. La roue est couplée au moteur d'entraînement par l'intermédiaire d'un coupleur souple. La roue dentée est entraînée par un moteur alternatif triphasé séparé qui est commandé en vitesse. Il se compose d'une roue avec des tailles différentes, selon le type de matériau que vous voulez rouler. La roue est synchronisée à la meule, vous permettant de rouler simultanément le haut et le bas des plaquettes. La roue de polissage est entraînée par un autre moteur alternatif triphasé et possède une grande variété de milieux abrasifs disponibles et peut effectuer un polissage à la fois humide et sec. La roue est également couplée au moteur d'entraînement par l'intermédiaire d'un coupleur souple. La machine est conçue pour maintenir la précision et la répétabilité dans le temps en fournissant une vitesse constante des roues de meulage et de polissage. La rugosité du procédé de broyage et de polissage peut être contrôlée en ajustant le débit d'alimentation du broyeur et du milieu poli. L'outil est enfermé dans un boîtier en acier inoxydable pour une résistance à la corrosion et un nettoyage facile. Le boîtier a un atout de filtration intégré pour la poussière, la fumée et la brume pour la sécurité. A l'intérieur, un puissant modèle de circulation d'air élimine les particules de poussière de la zone de travail. EBARA EPO222 est un équipement fiable et efficace pour broyer, tapisser et polir des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. Ce système permet des processus de broyage et de polissage cohérents et reproductibles. Avec ses puissants servomoteurs, sa table tournante réglable et sa roue dentée, et ses multiples supports abrasifs, cette unité offre une solution idéale pour les applications CMP et MEMS.