Occasion EBARA EPO-222D #293749188 à vendre en France

EBARA EPO-222D est un équipement avancé de broyage, de nappage et de polissage par voie humide pour l'usinage de précision des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour fournir une finition de surface optimale pour les applications de wafer de grand diamètre avec une large gamme de capacités de traitement. Il est conçu avec un système d'entraînement complexe à plusieurs niveaux, permettant aux opérateurs de contrôler les pressions et les vitesses propres à chaque application. La machine utilise une surface de travail tournante qui est montée sur une base stable. Cette surface de travail est placée dans un environnement d'usine semi-scellé, ce qui la rend immunisée contre les poussières externes et empêche la contamination croisée des plaquettes de silicium. Il est équipé d'une plate-forme de broyage haute pression très avancée et d'une série d'outils de broyage au diamant qui permettent d'obtenir une finition de surface plate et précise en enlevant le matériau couche par couche. L'unité de broyage est conçue pour assurer un contrôle précis de la pression de contact et de la vitesse relative de l'outil de broyage du diamant par rapport à la plaquette. Cela permet des tolérances serrées même avec des plaquettes de grande surface. Cette unité utilise également un environnement de broyage refroidi par liquide pour optimiser le processus. Il est capable de traiter de nombreux types de matériaux semi-conducteurs du silicium et du germanium à l'arséniure de gallium et aux supraconducteurs à haute température. La machine est équipée d'une section de lavage multi-zones pour le nettoyage des plaquettes. Cette unité est composée de plusieurs filtres rotatifs et brosses qui aident à nettoyer à la fois la surface de travail et les outils de broyage du diamant avant et après chaque opération. L'outil dispose également d'une unité de polissage qui utilise des films de polissage et des composés pour affiner la finition de surface. Ce processus peut être configuré pour répondre à un large éventail d'exigences de finition de surface. EPO-222D est également conçu avec un actif de refroidissement externe pour éviter les dommages thermiques à la plaquette et l'outil de broyage de diamant. Son modèle de contrôle avancé, comprenant un étalonnage automatique et des moniteurs en temps réel, permet aux opérateurs de surveiller en permanence l'intégrité du processus afin d'assurer des performances cohérentes et de réduire les temps de configuration. L'équipement dispose également d'une surveillance CPU en temps réel, permettant aux opérateurs de diagnostiquer et d'identifier les éventuels problèmes mécaniques. EBARA EPO-222D est une solution évoluée et polyvalente pour l'usinage précis de plaquettes de plus grand diamètre. Avec son système d'entraînement multi-couches, un contrôle de pression précis et une large gamme de capacités de traitement, il offre un haut degré de contrôle et de flexibilité qui peut aider à augmenter la productivité et à réduire les coûts pour les applications de semi-conducteurs.