Occasion EBARA EPO-223 #118608 à vendre en France
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Vendu
ID: 118608
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Tungsten CMP system, 8"
Process type: W-CMP
Pad conditioner: dresser type
Pad conditioner head: brush type
Pad conditioner holder: universal
Load / unload unit type: cassette
Robot: Rorze, dual arm
In-situ removal rate monitor: yes
SEC GEM interface
Platen & Head Options:
Polishing head: normal head
Retaining ring: normal type
Platen temperature control: yes
Slurry Delivery Options:
Slurry delivery: 3-line
Slurry flow rate: STD; 50 ml/min to 500 ml/min
Slurry flow monitor: Polisher-2, 1-line display
Slurry facilities: slurry supply unit, 2 system
System S/W Status:
Panel Com S/W: 2.3.5
O/S Com S/W: 4.01.00
System Safety Equipment:
Red turn to release EMO button: STO
EMO guard ring: yes
System labels: Japanese
Earthquake brackets: yes
LO to disconnect on polisher: yes
Polisher tower mounting type: 3-color pole
Cleaner options: integrated; roll brush + roll brush + pencil & SRD
200V, 3 phase, 60Hz, 100A
1997 vintage.
EBARA EPO-223 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de pointe conçu pour fournir une qualité et une précision supérieures pour les opérations d'usinage des plaquettes. EPO-223 est idéal pour les applications nécessitant une grande précision lors du rodage, du polissage et du broyage des plaquettes. Le système EBARA EPO-223 se compose d'une plate-forme de meulage, intégrée à une plate-forme de mouvement 3 axes, tête de polissage automatique et entraînement de broche. La plate-forme de meulage se compose d'une table tournante de polissage, d'un mécanisme rotatif de mouvement et d'un entraînement rotatif de mouvement. La plate-forme de meulage est fixe, tandis que la plate-forme de mouvement tabetop est entraînée par la tête de polissage et l'entraínement de broche qui sont capables de générer une vitesse maximale de 150 tr/min. La table tournante de polissage fournit une surface plane qui est cohérente en taille, planéité et parallélisme. La base en V sur la table de polissage est conçue pour fournir une base sûre et stable pour les plaquettes ou substrats lors de l'usinage. Le mouvement de rotation assure un fonctionnement efficace et répétable avec un minimum de vibrations. La plate-forme de mouvement à 3 axes, avec une course maximale de 350 mm, entraîne la tête de polissage et l'entraînement de la broche. Il est conçu pour fournir un fonctionnement précis et reproductible, permettant un broyage, un rodage et un polissage précis et contrôlés des plaquettes. La vitesse réglable de la tête de polissage et de la broche peut être réglée avec précision de 0 à 150 tr/min afin d'obtenir des résultats de haute qualité. La tête de polissage automatique est conçue pour fournir une finition uniforme et lisse sur les plaquettes. Il est équipé d'un moniteur de rétroaction de résistivité réglable, fournissant une méthode pour mesurer et ajuster la vitesse et la pression de polissage au besoin afin de maintenir les résultats souhaités. En outre, EPO-223 comprend une variété de caractéristiques de sécurité pour assurer la sécurité des opérateurs. Il est équipé d'un bouton d'arrêt mécanique d'urgence, d'un régulateur de pression et d'une pompe à lubrifiant qui maintient la plate-forme de mouvement bien lubrifiée. En conclusion, EBARA EPO-223 est une unité de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes puissante et fiable conçue pour produire une qualité et une précision supérieures pour les opérations d'usinage des plaquettes. Cette machine combine la précision d'une plate-forme de meulage, la précision d'une plate-forme de mouvement à 3 axes, la précision d'une tête de polissage automatique et d'un entraînement de broche, ainsi que des caractéristiques de sécurité pour une sécurité accrue de l'opérateur.
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