Occasion EBARA EPO-223 #118609 à vendre en France

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ID: 118609
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Tungsten CMP system, 8" Process type: W-CMP Pad conditioner: dresser type Pad conditioner head: brush type Pad conditioner holder: universal Load / unload unit type: cassette Robot: Rorze, dual arm In-situ removal rate monitor: yes SEC GEM interface Platen & Head Options: Polishing head: normal head Retaining ring: normal type Platen temperature control: yes Slurry Delivery Options: Slurry delivery: 3-line Slurry flow rate: STD; 50 ml/min to 500 ml/min Slurry flow monitor: Polisher-2, 1-line display Slurry facilities: slurry supply unit, 2 system System S/W Status: Panel Com S/W: 2.3.5 O/S Com S/W: 4.01.00 System Safety Equipment: Red turn to release EMO button: STO EMO guard ring: yes System labels: Japanese Earthquake brackets: yes LO to disconnect on polisher: yes Polisher tower mounting type: 3-color pole Cleaner options: integrated; roll brush + roll brush + pencil & SRD 200V, 3 phase, 60Hz, 100A 1997 vintage.
EBARA EPO-223 est un équipement automatisé de broyage, rodage et polissage de plaquettes conçu pour offrir une excellente planéité et finition de surface. Utilisant des technologies de pointe, EPO-223 est capable de traiter n'importe quoi de petites puces à de grandes plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre. EBARA EPO-223 est équipé d'une broche à broche à trois axes à grande vitesse, d'une buse et d'un porte-plaquettes pour une manipulation et un traitement précis des plaquettes. Avec un moteur puissant, cette broche a une vitesse de broyage rapide et une grande précision qui lui permet d'obtenir une grande efficacité et uniformité dans le broyage et le rodage des plaquettes. EPO-223 offre également un surfaceur de précision, qui fournit des opérations de rodage et de polissage précises et reproductibles. Il est équipé des dernières avancées et technologies, telles qu'un système préréglé d'agent de broyage, une métrologie dynamique de surface de haute précision et un contrôle moto-radiométrique intégré. Le surfaceur est également livré avec une unité de profilage dynamique à 4 pales pour des opérations de polissage ultra-fines. L'une des caractéristiques les plus impressionnantes d'EBARA EPO-223 est sa machine de rainurage à grande vitesse, qui assure un contrôle serré de l'écart, une profondeur supérieure et des performances de planéité inégalées. Avec ses capacités d'habillage et de profilage intégrées, l'outil de rainure offre des performances fiables et reproductibles chaque fois qu'il est utilisé. L'actif offre également un robot de manutention des plaquettes, permettant le chargement et le déchargement automatiques des plaquettes. En outre, EPO-223 est conçu avec un contrôleur de mouvement haut de gamme, permettant une large gamme de programmes et de macros pour améliorer la productivité et la précision. Dans l'ensemble, EBARA EPO-223 est un modèle de broyage, de nappage et de polissage automatisé et de pointe qui offre des performances, une planéité et une finition de surface supérieures. Avec ses fonctionnalités et technologies avancées, EPO-223 offre des capacités de processus supérieures et un débit amélioré, ce qui en fait un outil inestimable pour toute application de traitement de plaquettes.
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