Occasion EBARA EPO-223 #293636272 à vendre en France
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EBARA EPO-223 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage automatisé de wafer de qualité professionnelle. La conception du système est entièrement automatisée pour permettre à l'utilisateur d'exécuter rapidement et facilement l'ensemble du processus de production des plaquettes. L'unité utilise une broche haute vitesse contrôlée de précision pour broyer, napper et polir des plaquettes d'un diamètre allant jusqu'à 300 mm. La machine dispose d'un chargeur de plaquettes robotisées et d'un positionneur de cassettes, qui aident à réduire le temps de cycle. La taille et la vitesse de rotation de la plaque peuvent être ajustées à l'aide d'une interface tactile intuitive afin d'assurer une plus grande précision pour différentes applications et matériaux. De plus, l'outil est équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels qu'un interrupteur d'arrêt d'urgence, des rideaux lumineux et des embrayages qui assurent la sécurité de l'opérateur. La conception de l'actif intègre également des fonctions de contrôle des poussières dédiées pour maintenir l'environnement dans les spécifications optimales de la salle blanche. Pour le broyage, le modèle est équipé d'une broche à 3 axes programmée pour profiler des plaquettes. La broche est entraînée par un moteur à fort couple, ce qui lui permet d'atteindre des vitesses allant jusqu'à 22 000 tr/min. Les têtes de broyage sont réglables pour répondre à diverses tailles de plaquettes, matériaux et exigences de processus. La broche est également équipée d'un équipement de contrôle de vitesse à base d'accéléromètre, améliorant encore la précision du processus de broyage. La conception de l'EPO-223 permet également aux utilisateurs de disposer efficacement et rapidement de plaquettes. Le système utilise un palier à air ultra-précis pour contrôler la rotation de la table à genoux et du chariot avec une grande précision. La table à nappes est conçue pour être alimentée pneumatiquement et est conçue avec une pompe à ventouse pour aider à maintenir les plaquettes en place de façon sécuritaire pendant les nappes. De plus, la plaque de nappe peut être ajustée pour assurer des résultats optimaux pour différents matériaux. Le processus de polissage est géré par l'intermédiaire de la tête de polissage automatisée de l'unité. La tête de polissage dispose de tampons de polissage réglables conçus pour traiter toute taille de plaquette de 3 à 300 mm. La machine intègre également un bras robot 6 axes et une machine de polissage pour le contrôle de l'uniformité, contribuant à assurer une finition de polissage cohérente. Le bras robot est également équipé d'un effecteur d'extrémité à commande numérique, qui aide à automatiser le processus et à réduire les temps de cycle. EBARA EPO-223 est construit avec des matériaux et des composants de qualité supérieure pour offrir des performances et une fiabilité supérieures. L'outil est conforme aux certifications CE, UL et ESD, ce qui garantit sa sécurité d'utilisation. En outre, EPO-223 est soutenu par une garantie complète, assurant la tranquillité d'esprit à long terme.
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