Occasion EBARA Frex 200 #9016976 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9016976
Style Vintage: 2000
Tungsten CMP system
Includes:
Table motor current:
(2) Ceramic tables (heating and cooling capability)
(2) Buff stations
(2) Spare multi-holed top ring head assemblies, Ebara part no. AEPO22-BLR-0010
Main frame construction:
Split frame: cleaning unit and polishing unit
Stainless steel frame, base panels painted light gray, blue, and white
Latched panels and hinged door
Air: flow in transfer / cleaning unit, air-flow in polishing unit
Piping: DI water: PFA / Slurry: PFA and PTFE / Drain: PVC
Loading / Unloading unit: Flouroware, part no. A198-80MB-47C02
Transfer unit: (3) robots
Wafer stations: (2) dry, (2) wet
Polishing unit:
(2) Top-ring units
(2) Turn table units
(2) Dressing units
(1) Rotary transporter units
(1) Slurry feed pump
Rotary transporter unit:
(2) Turnover units
(2) Lifter units
(1) Rotary stage unit
(2) Pusher units
Cleaning units:
(4) Units in total, with in-line processing, process cup structure, and wafer transfer with robot between units
First stage cleaning includes:
Roll sponge scrub cleaning, and chemical spout rinsing for front side and back sides
Peripheral chucking by rollers, and manual damper Ventilation control with exhaust pressure indicator
Second stage cleaning for cleaning both sides of wafer and spin dry, includes:
Pencil sponge scrub cleaning, Megasonic jet cleaning, and chemical spout rinsing
Peripheral chucking by rollers, and manual damper ventilation control with exhaust pressure indicator
Power supply including breaker for each module
Main controller hardware including VME bus, Board computer, Main CPU: 68-series 32-bit O/S software using OS-9/C language description
Separate structure on each module
I/O connection with module, featuring serial communication
Operation unit with touch panel display
Safety measures to include:
Leakage sensors provided on the polishing head (top - ring head)
Drain pans which may have possibilities of fluid leakage
Emergency off buttons installed around the tool to cut power and stop CMP operation
Lift top ring and stop table
Door interlock that stops unit operation
Moving parts are covered with protection covers
Protection cover is provided for areas which may have potential larger than 24 V
208 VAC, 3 phase, 60 Hz
Full load: 80 A
Machine main breaker rating: 125 A
Ampere rating of largest load: 80 A
Interrupt current: 14,000 A
Size of largest motor: 3.7 kW
2000 vintage.
EBARA Frex 200 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de précision spécialement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système dispose d'un logiciel de contrôle avancé et est construit autour d'une puissante unité robotique multifonctionnelle pour un traitement efficace et précis des plaquettes. La machine comprend également un outil de manutention de plaquettes entièrement automatisé qui est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 200mm. EBARA FREX200 dispose d'une station de broyage intégrée configurée pour le double alignement du disque magnétique, pour assurer l'aplatissement parfait des plaquettes même les plus difficiles pendant le processus de broyage et de polissage. Le poste de broyage est gréé avec du liquide de refroidissement haute pression pour effectuer un broyage rapide et précis avec des vibrations minimisées. La station de broyage est également équipée de jauges optiques avancées pour des mesures précises, permettant des résultats précis. La station de rodage de l'actif est conçue pour donner une finition parfaite à la surface de la plaquette déjà polie. Cela se fait à l'aide d'un bras de rodage entièrement motorisé et intégré avec des actionneurs rotatifs de haute précision pour le contact contrôlé des plaquettes. Le logiciel de contrôle avancé assure un traitement précis et une finition de surface très précise. La station de polissage FREX-200 utilise des configurations multidirectionnelles pour un polissage efficace des plaquettes. La station règle automatiquement les réglages de pression des coussins et utilise un contrôle automatisé de la pression d'air pour obtenir des résultats précis. Il comprend également des systèmes automatisés de distribution de produits chimiques pour de meilleurs résultats. Le logiciel avancé du modèle et l'équipement de contrôle robotique avancé permettent un flux de travail entièrement automatisé, permettant à l'opérateur de surveiller et de contrôler l'ensemble du processus à distance. En outre, il dispose également d'une gestion de recette traçable pour assurer des résultats reproductibles. Dans l'ensemble, EBARA FREX-200 est un système de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes de précision très avancé, conçu pour offrir les rendements les plus élevés possibles avec une qualité optimale. Ses fonctionnalités d'automatisation avancées garantissent des résultats prévisibles, ce qui en fait l'unité idéale pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques