Occasion EBARA Frex 200 #9293811 à vendre en France

EBARA Frex 200 est un système entièrement intégré de broyage et de polissage des plaquettes. Cette machine dispose d'un contrôleur numérique informatisé (CNC) qui permet des mouvements précis et reproductibles à la surface de la plaquette. Le CNC utilise des commandes en boucle fermée pour réguler et surveiller les paramètres de finition de surface tels que la vitesse d'élimination, les cassures et le contrôle de la zone exempte de particules. La première étape du procédé consiste à broyer la surface de la plaquette. Cela implique la sélection d'une pierre de broyage appropriée et l'utilisation du bras robotique guidé CNC. Cela permet une plus grande précision avec une large gamme de tailles de pierre de broyage. La taille de la pierre de broyage EBARA FREX200 varie de 2 « à 10 », et est capable de broyer des plaquettes standard et non standard. Ensuite, la plaquette entre dans le processus de rodage. C'est alors que le bras robotique guidé CNC précis et répétable applique un lubrifiant sur la plaquette tout en réglant une gamme de vitesses. Les vitesses de rodage du FREX-200 varient de 400tr/min à 14000tr/min et sont réglables pour répondre aux exigences spécifiques du processus. Ensuite, la tête de nappage est montée et un plateau est filé à grande vitesse, permettant une abrasion et un polissage uniformes de la plaquette. Enfin, la plaquette est transférée au poste de polissage. Cette station dispose de plusieurs ports qui abritent des plaquettes de polissage à pression réglable, permettant à l'opérateur de polir une large gamme de surfaces et de types de plaquettes. Ce procédé de polissage est combiné à un système de pression micro-dynamique pour assurer une qualité uniforme de la plaquette. F-REX200 dispose également d'une roue manuelle tamponneuse en plaquette avec un tampon spécialement conçu qui aide à réduire la fissuration des bords. Frex 200 combine efficacement le broyage, le rodage et le polissage des plaquettes en un seul système automatisé pour fournir précision, répétabilité et haut débit de production. Grâce à l'utilisation du CNC, FREX200 peut produire des résultats très cohérents pour diverses applications de wafer. Grâce au broyage précis et au polissage des plaquettes, cette machine peut fournir aux utilisateurs des finitions de surface précises et précises. EBARA F-REX200 est parfait pour toute opération nécessitant une finition de plaquette de haute qualité.