Occasion EBARA Frex 200 #9362887 à vendre en France

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ID: 9362887
Chemical Mechanical Planarization (CMP) system EFEM: Load port: (2) EBARA (2) TAKA YASKAWA Robot Position control: Motor + LM Guide (Harmonic gear) Wafer transfer: Wafer station: (2) Transporters Turn over 1 Turn over 2 (2) Pushers L, R (2) Lifters L, R RTP Polishing unit: Top ring: Retainer ring Head type: MPTI Head missing Dresser: (2) Diamond disks (2) Air balance types Table: (2) Stainless steel materials (2) Lapping surfaces (2) KOYO Motors Rotation: Polisher L, R Slurry line: (2) Standards Option Roller pump system L and R polisher missing Cleaner 1: Method: (2) Roll scrubs (Upper and lower roller) Mega sonic: (2) Mega jets (Upper and lower roller) Wafer roller: Hardness: (8) Duro90 Cleaner 2: Method: (2) Pencil + SRD Bevel sponge: (2) Pencil sponges (2) SRD Dryers Operation: ETC: Position: Front, L Side, R Side (3) Touch Monitors, 15" Option: End point monitor: (2) TCM: L Side, R Side MPM8F Controller ITM APC / CLC: BC, FS Atomizer Utility: DIW (5) Upper exhaust connections 2000 vintage.
EBARA Frex 200 est un équipement avancé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour produire des finitions de surface très précises et fiables sur des plaquettes semi-conductrices. Il utilise une technologie sophistiquée de broyage, de rodage et de polissage pour obtenir des finitions de surface de substrat exemptes de défauts et de particules qui peuvent affecter le rendement du dispositif. Le système EBARA FREX200 offre plusieurs avantages par rapport aux systèmes classiques de broyage et de polissage. FREX-200 dispose d'une tête de meulage de haute précision qui utilise un mécanisme de mouvement synchronisé propriétaire et moteur d'entraînement direct, qui offrent une uniformité et une maniabilité supérieures. Cela permet une précision supérieure dans le processus de broyage et des rendements et des niveaux de qualité plus élevés dans la fabrication des dispositifs. L'ensemble est conçu pour une configuration et un fonctionnement faciles, avec un panneau tactile convivial et une interface intuitive. La machine Frex 200 dispose également d'une technologie de nappage et de polissage de précision qui assure une finition plus lisse sur le substrat que le polissage mécanique. Les plaques de nappage sont revêtues d'une boue de polissage spéciale qui contribue à réduire les défauts et à maintenir l'homogénéité de la surface du substrat, tandis que la tête de polissage tourne en continu ; ainsi, il offre une finition de surface de haute qualité et uniforme. F-REX200 dispose également d'un couteau à air pour l'élimination de la poussière, ce qui aide l'outil à maintenir un environnement de travail propre. L'actif dispose d'un modèle de contrôle en boucle fermée qui permet d'assurer la reproductibilité des processus de broyage, de rodage et de polissage. Il dispose de capacités avancées de surveillance et d'inspection des capteurs, avec une technologie de traitement d'image de pointe, permettant une fabrication sans défaut. L'équipement est également conçu avec un système de contrôle de température intelligent qui aide à maintenir une température constante pendant les opérations de production, assurant un processus de fabrication stable et la qualité de l'appareil. Dans l'ensemble, FREX200 est une unité de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes très avancée et fiable. Il offre un contrôle exceptionnel et une uniformité dans les processus de broyage, de rodage et de polissage, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats de fabrication extrêmement précis et de haute qualité. La machine est également très automatisée, ce qui la rend efficace et conviviale. EBARA FREX-200 est une solution idéale pour les fabricants qui ont besoin d'un outil fiable et précis pour garantir la qualité et des rendements élevés dans la production d'appareils.
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