Occasion EBARA Frex 300 #293606132 à vendre en France
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ID: 293606132
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
CMP System, 12"
EFEM (Load/Unload):
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Electric robot
Position control: Motor + Ball screw
Dry robot
Wafer transfer:
(2) Turn overs (R/L Side)
(2) Pushers (R/L Side)
(4) LTP Linear stages (R/L Side)
(2) Lifters (R/L Side)
Wafer stage (R/L Side)
Wet robot
Polishers:
(2) Top ring normal heads
(2) Buffing tables
Slurry line
Chemical (CL) connection
Return Line
(2) Dressers (R/L Side):
Diamond pattern type
Disk type: Plate
(2) Tables (R/L Side):
Material stainless steel
Lapping surface
Motor
(2) Cleaners:
1st Cleaner:
(2) Roll scrubs
(2) Megasonics
Wafer roller: Duro 90
SC-1 < 60°C
2nd Cleaner (Pencil and SRD Unit):
(2) Roll scrubs
Megasonic
Power control unit:
Power control
(4) Drivers:
Head rotation
Head swing
Operation controller (ETC):
Hardware:
VME Bus, board computer
Main CPU: 68 Series 32 Bit
2001 vintage.
EBARA Frex 300 est un équipement avancé de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes. Il est conçu pour produire des plaquettes polies monobloc et/ou double face avec un contrôle serré sur la rugosité, la planéité et l'épaisseur de la surface. Le système offre une excellente contrôlabilité lors des opérations de broyage, de rodage ou de polissage ultra-précises. EBARA FREX-300 dispose d'une unité de commande numérique avancée qui permet de contrôler avec précision le processus de broyage, de rodage ou de polissage pendant le fonctionnement. Il comprend un moteur à broche Sony de grande puissance qui offre une rotation lisse, basse vibration et haute vitesse, contribuant à assurer des résultats uniformes. La machine dispose également d'un roulement à air avancé qui permet des opérations de broyage, de nappage ou de polissage lisses et sans vibrations. F-REX300 fonctionne sur un outil de mouvement robotique à six axes avec un module à trois axes. L'actif robotique robuste fournit des opérations de broyage, de rodage ou de polissage automatiques précises et répétables pour des résultats reproductibles. Le modèle de mouvement robotique est entièrement fermé pour améliorer le contrôle des processus et la sécurité. L'équipement comprend des composants logiciels intégrés qui peuvent être utilisés pour personnaliser les opérations de broyage, de rodage ou de polissage. Le logiciel intégré permet une personnalisation facile et rapide des paramètres de rectification. Il dispose également d'une interface utilisateur intuitive qui facilite le contrôle et la surveillance des opérations du système. En outre, le logiciel comprend une unité de stockage de données qui permet aux utilisateurs de stocker des données provenant d'opérations passées de rectification et/ou de polissage pour examen ultérieur. La machine est équipée d'une large gamme de consommables de broyage, de nappage et de polissage. Les consommables sont conçus pour fournir des résultats cohérents et reproductibles. Les outils de broyage sont fabriqués à partir de divers matériaux pour différentes opérations telles que le broyage brut, le broyage fin, le nappage et le polissage. Les outils de nappage et de polissage sont fabriqués à partir de matériaux résilients comme la céramique et le diamant polycristallin, assurant des résultats uniformes. EBARA F-REX300 dispose également de deux composants spécifiques à l'application : une cassette de stockage abrasif en option et une cassette de polissage. La cassette abrasive est conçue pour faciliter le chargement et le déchargement des matériaux de broyage. La cassette de polissage est conçue pour assurer une application uniforme des agents de polissage permettant des résultats précis et reproductibles. Frex 300 est un outil de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes très performant conçu pour assurer un contrôle précis des processus de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes. Il est doté d'un atout de contrôle numérique avancé, d'un moteur à broche Sony de grande puissance, d'un modèle de roulement à air et de mouvement robotique, de composants logiciels intégrés et d'une gamme de consommables de broyage, de rodage et de polissage. Les deux cassettes spécifiques à l'application facilitent le chargement et le déchargement des matériaux de broyage et des agents de polissage, fournissant des résultats cohérents et reproductibles.
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