Occasion EBARA Frex 300 #293652216 à vendre en France
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ID: 293652216
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
W-CMP System, 12"
(4) ASYST S2 load ports
Chemical connections (Bottom)
Exhaust connections (Top)
Gas connections (Bottom)
Drain connections (Bottom)
Polisher (L/R):
AL Polishing head, 12"
Endpoint: TCM and friction
Platen type: Ceramic (SIC), 10-150 RPM
Platen pad conditioner: Sweep driven, Scan dresser disc, 4”
CLC Slurry delivery
Slurry line1: ASAHI 25-250ml / min
TOKYO KEISO Platen cooling flow monitor
Platen cooling temperature monitor
Dresser DIW Flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Type 1: Roller brush
Chemical delivery type: (1) Chem CLC 0.0-1.0 L/min
Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Pencil brush spin rinse dryer
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: L-Side
Monitor 3: R-Side
EPD monitor: R-Side
(2) CPU:
Touch panel drawing and control version: 7.5.00
ME10 / ME20
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (process database): Touch panel
2001 vintage.
EBARA Frex 300 est un équipement automatisé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une précision extrême, offrant jusqu'à 0,5 um de finition, et un fonctionnement à grande vitesse pour une production efficace. Le système utilise une unité de polissage ultra-basse force pour des résultats optimaux, avec un plateau programmable à vitesse variable pour le traitement d'une large gamme de types et de matériaux de taille, permettant une flexibilité maximale. Il est conçu pour fonctionner en salle blanche avec des cages en acier inoxydable, résistantes à la corrosion et des hottes laminaires d'écoulement d'air. La machine se compose d'un robot à 6 axes, d'un broyeur Advanced CNC et d'un bras à double disque. Le robot est capable de déplacer des plaquettes, travaillant avec quatre plaquettes à la fois, et est équipé de deux axes linéaires et de deux axes rotatifs. Il est intégré à la meuleuse CNC grâce à un servomoteur qui assure un contrôle précis et une vitesse de traitement plus rapide. Le broyeur CNC comprend une table de haute précision, idéale pour le broyage, le nappage et le polissage des plaquettes. Le bras dentelé à deux disques utilise une plaque plane et une plaque de contour, pour polir avec précision les surfaces planes et courbes, ce qui permet de contrôler la précision et de minimiser les temps de cycle. L'outil offre également une gamme d'options personnalisables pour une variété d'applications. Il peut être configuré pour accueillir différentes tailles de plates-formes de plaquettes, et est équipé d'un poste de nettoyage des plaquettes, de soupapes de contrôle de pression et de couteaux à air pour un transfert efficace des plaquettes. En outre, l'actif peut être étendu avec des fonctionnalités supplémentaires, telles que différents disques de claquement, mâchoires Chuck, et d'autres accessoires. EBARA FREX-300 a été conçu pour faciliter une opération simple et facile. Il offre une gamme de caractéristiques de sécurité pour la sécurité et la protection des opérateurs, et est capable de fournir des résultats de fabrication exceptionnels avec une grande précision, fiabilité et efficacité.
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