Occasion EBARA Frex 300 #293723869 à vendre en France

ID: 293723869
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
CMP System, 12" CIM: SECS / GEM Process: Tungsten Handler system (4) FOUP 2010 vintage.
EBARA Frex 300 est un équipement de broyage, rodage et polissage de plaquettes conçu pour le rodage et le broyage de miroir de haute précision des plaquettes semi-conductrices. Il est capable de générer des surfaces très précises avec des structures de ratio d'aspect élevé et une rugosité globale inférieure. Le système se compose d'une unité principale, d'une unité de commande, d'une broche de broyage et de polissage et d'un étage de transfert de plaquettes. L'unité principale d'EBARA FREX-300 se compose d'un moteur de rectification et de polissage, d'une broche, d'un contrôleur et d'un bras robot. Le moteur est alimenté par un servomoteur qui entraîne la broche et contrôle la vitesse du processus de broyage et de polissage. Le bras robot transfère les plaquettes de l'étape de transfert à la broche de broyage et de polissage. L'unité de commande de l'unité est un logiciel propriétaire qui assure un fonctionnement précis et cohérent de la machine. Il peut être programmé pour exécuter diverses opérations de broyage et de polissage sur une variété de plaquettes et peut être utilisé pour surveiller les processus de broyage et de polissage. La broche de broyage et de polissage est un design unique qui permet le broyage de géométries complexes. Il est également capable de produire des surfaces nappées de haute qualité avec une finition miroir élevée. La broche est couplée avec un entraînement de précision, fournissant une mouture et un vernis très précis et reproductible. L'étape de transfert des plaquettes permet un transfert automatique précis et précis des plaquettes vers la broche de broyage et de polissage. Cela permet à l'outil de produire des surfaces nappées précises et de haute qualité. F-REX300 est conçu pour le rodage de haute précision, le broyage et le polissage des plaquettes semi-conductrices. Sa conception robuste, sa haute précision et sa précision répétable en font un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs et les installations de R&D. Il est capable de créer des surfaces très précises avec une rugosité de surface minimale et des structures de ratio d'aspect élevé.
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