Occasion EBARA Frex 300 #293743768 à vendre en France

EBARA Frex 300 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes entièrement automatisé utilisé dans la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Le système sophistiqué comprend deux modules de processus distincts, chacun pouvant être configuré pour fonctionner de manière indépendante ou en séquence. L'unité offre des capacités améliorées de préparation de surface de plaquettes pour tout type de substrat de plaquettes, comme le silicium, le silicium monocristallin et les films isolants. L'approche bi-module intégrée permet à l'utilisateur de choisir les meilleures conditions de traitement adaptées à une plaquette donnée, du broyage de précision, au rodage de haute précision, au polissage ultra fin. Il est conçu pour gagner du temps et augmenter le débit en gérant efficacement une large gamme de techniques de prétraitement des plaquettes. Le module de meulage est constitué d'un moteur à couple élevé, à vitesse réglable, couplé à une meule pour la mise en forme précise des plaquettes. La meule peut être programmée avec les paramètres de meulage spécifiques pour obtenir la finition de surface souhaitée, ce qui en fait un choix idéal pour les formes complexes. Le module de broyage utilise un mécanisme à force réglable avec des mécanismes de rétroaction de précision pour maintenir une finition de surface exacte avec des paramètres très serrés. Le module de nappage est conçu pour éliminer les défauts de surface et fournir une finition de surface lisse et uniforme. La machine utilise un outil sophistiqué de contrôle de pression pour ajuster la force à la surface de la plaquette afin d'assurer des résultats uniformes et cohérents. Un actif de rétroaction intégré surveille continuellement le processus de broyage et de rodage pour obtenir des résultats cohérents. Une mesure de planéité est également utilisée pour assurer une surface plane et sans défaut. Le module de polissage est essentiel pour obtenir la meilleure finition de surface possible sur les plaquettes. Ce module utilise un moteur à vitesse réglable pour entraîner un patin de polissage tandis qu'un mécanisme à force réglable maintient une pression uniforme sur la surface de la plaquette. Le modèle est équipé d'un moniteur de polissage optique et d'un équipement d'imagerie haute résolution pour assurer un contrôle inégalé sur le processus de polissage. EBARA FREX-300 est un système de broyage, de rodage et de polissage automatisé de plaquettes très sophistiqué utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. L'approche à deux modules et l'unité de rétroaction avancée offrent à l'utilisateur un niveau de contrôle sans précédent sur le processus de préparation de surface des plaquettes. La machine est capable de produire des surfaces avec des tolérances serrées et des défauts minimisés en temps de cycle court.