Occasion EBARA Frex 300 #293768436 à vendre en France

ID: 293768436
CMP System.
EBARA Frex 300 est un équipement automatisé de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes semi-conductrices utilisées pour la finition et le polissage. Il est conçu pour fournir une haute précision et répétabilité, et est adapté à une utilisation dans les laboratoires de recherche et développement. EBARA FREX-300 est une machine de précision pour le nappage et le polissage de plaquettes plates. Il a un lit plat de pièce qui est incliné de 0 à 45 degrés, de sorte que l'échantillon peut être traité horizontalement ou verticalement selon sa taille. La machine utilise également un système de plaques de polissage à double position pour assurer un traitement uniforme et uniforme. Il a également un porte-échantillon in situ contrôlé numériquement pour empêcher le mouvement de l'échantillon pendant le traitement. F-REX300 est conçu pour un fonctionnement flexible, sûr et précis. Il est équipé d'un total de 10 fonctions de contrôle pour les paramètres de processus, y compris le broyage, le rodage et le polissage. De plus, l'unité est reliée à une plate-forme de traitement de données pour l'acquisition de données et l'analyse de paramètres de performance au cours du processus. EBARA F-REX300 dispose également d'une machine de manutention d'échantillons entièrement automatisée, qui fait partie intégrante de l'ensemble de la machine. Il dispose d'un chargeur mobile commandé par ordinateur, permettant de charger et décharger des échantillons de la machine avec un minimum de supervision et d'intervention de l'utilisateur. Un outil de transport d'échantillons est également prévu pour déplacer les plaquettes vers et depuis le chargeur. FREX-300 est conçu pour fournir des résultats fiables avec un écart de rugosité maximal de 1 µm pour assurer un polissage isotrope de la surface. Il peut traiter une variété de matériaux différents avec des spécifications différentes, du broyage léger au polissage haute brillance. De plus, le F-REX 300 peut être facilement intégré pour fonctionner avec des systèmes de traitement standard de plaquettes, tels que le polissage au diamant ou la gravure. Cela en fait une solution idéale pour la R&D et les environnements de production. EBARA fournit également des services de cycle de vie et de maintenance pour la machine, en veillant à ce que Frex 300 reste un service optimal.
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