Occasion EBARA Frex 300 #293816722 à vendre en France

EBARA Frex 300 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes hautement automatisé de pointe. Le système sophistiqué d'automatisation 3 axes sur EBARA FREX-300 garantit des résultats précis et cohérents dans un seul lot de plaquettes pour autant de plaquettes que vous avez besoin. Le broyeur et le Lapper de F-REX300 intègrent tous deux un mécanisme de déclenchement mécanique à trois axes unique qui élimine le besoin de manutention manuelle et d'autres processus manuels. Le broyeur EBARA F-REX300 a une vitesse de broyage maximale de 95.000 tr/min, une taille minimale de 40nm et une résolution de haute précision de ± 20nm, ce qui en fait le choix parfait pour les exigences de processus et de R&D. L'unité de polissage sur EBARA F-REX 300 a été conçue pour traiter des plaquettes très fines et peut générer des finitions de surface de haute qualité avec un contrôle de qualité. Les plaquettes polies peuvent atteindre une rugosité de Ra 2,5 nm et une planéité de quelques Angströms. La machine de polissage automatique à miroir de haute précision en FREX-300 garantit des résultats cohérents et performants. L'outil comprend également un procédé standard de rodage à plat qui offre des résultats de rodage rapides, reproductibles et de haute qualité avec des capacités de planéité inférieures à 0,1 nm (0,3 nm de planéité locale). Il y a un atout de pré-virage optionnel pour supporter le rodage haut de gamme, qui permet d'améliorer la précision de la rondeur. Le modèle de nettoyage intégré garantit que tous les composants de l'équipement sont propres et exempts de particules avant chaque processus. Le F-REX 300 est également équipé d'un module d'inspection post-processus pour le contrôle de la qualité des plaquettes. Frex 300 est conçu avec une version avancée, sans poussière, pour répondre aux exigences des opérations propices à la salle blanche. Le système est également conforme aux normes SEMI, ce qui le rend adapté à une production à haut volume. En conclusion, EBARA Frex 300 est une unité idéale pour le broyage automatisé de précision, le rodage et le polissage de plaquettes de haute qualité. Il offre des résultats de haute précision, des performances répétables et de faibles taux de défauts.